干涉仪的研究.PDFVIP

维普资讯 3一与] 第3o卷 第6期 机 械 工 程 学 报 。棚 № l994年12月 CHINESE JOURNAIOFMECHANICALENGINEERING Dec· l994 用于CNC位置环测量 的外差激光 干涉仪的研究 ‘ 赵 洋 李达成 (清华大学 北京 100084) 摘要 提出了用声光调制器实现的外差干涉仪，采用了相位变化整数周期和小数周期测量 的外 差干涉信号处理方法 ，不仅使干涉仪的涮量分辨率提高 到 ／2ooo，同时提高 了测量铙允许运动 速度 ，鬻决了用于大动态范围位移的态动涮量问题。该外差干涉测量 系统可 以甩作精密数控 中位 置环 的测量手段 。 叙词：数控机床 位置测量 外差干涉 相位测量 彳 )( 0 前言 机械工业是国民经济建设的基础产业，随着现代科学技术、高精尖技术的发展，社会的 进步与市场竞争的需要，对现代机械制造技术不断提出新的要求。为了提高产品的质量，机 械加工的零件的几何形状越来越复杂，精度越来越高，且产品的换代的周期越来越短，要求 机械加工有灵活性和 自动化，生产过程 由专家系统进行管理，因此可 以说这就是数控机床发 展的原动力。为了保证设备有效地运转工作，除 了机床本身的设计考虑，还应对机床各轴的 位置测量监控，温度变化、刀具误差、重力变形监控 [1]，其 中位置环的测量尤为 重要。国 内外都在致力于发展位置高精度测量的技术和手段，到 目前为止，已得到广泛应用的是计量 光栅、感应 同步器等 [2)。 由于激光外差干涉测量系统具有信号信噪比高，抗干扰能力强，可实现高分辨率测量等特 点，特别适用于工业条件下的应用，现 已开始被应用到数控机床 的位置环测 量 中去。但 以 HP5528A为倒的激光外差测量系统，只能用于静态的测量过程 中，且测量速度受到zeemtn 分裂频差的限制 [。)。本文提出的外差干涉仪是用声光调制器实现外差干涉测量，在干 涉信 号处理上实现了相位周期信号和相位信号的同时测量，使干涉测量既可达到纳米 级 高 分辨 率，又可实现动态位移的测量，而且测量速度高出上述方法若干倍，克服了上述 的两 个 缺 点，使激光外差洲量系统可有效地应用到数控机床的位置环测量中去。 到初稿，到肇陵并 维普资讯 机 械 工 程 学 jl{ 第 30卷 1 测量原理 1．1 用声光调制器实现 的外差干涉便 图1是激光外差干涉仪原理框图。它 由热稳频垒 内腔激光器 4、声光调制器 6、删量靶 镜 9、外差干涉信号处理 电路12等几部分组成。He—Ne稳频激光器发出的光，是两个偏振方 向正交的线偏振光，该光柬经过偏振分光镜 3后，两个偏振方向的线偏振光入射到光电探测 器 I、2上。光电探测器输 出的光 电流的差 作为稳频的误差信号，控制激光器腔长的加 热电流，实现激光器稳频，其稳频精度可达 1×10一。 由稳频激光蠢 4出咒端发 的光， 经过偏振片 5后变成了频率成分单一的线偏 振光 。该光束被声光浏制器 6衔射后的零级 光作为测量光经扩束准直镜 8后入射到测嚣 靶镜 9上，其反射光与声光诵制器 6的一级 l 用声光调制器实现激光 外萎 衍射光在分光镜10上汇合后，一起入射到光 干涉仪 的原理框 图 电探测器 1】上形成外差干涉信号。设干涉仪 l、2、 -】．光 电探