微分代数在高阶复合几何像差2色像差分析中的应用-西安交通大学三.PDFVIP

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微分代数在高阶复合几何像差2色像差分析中的应用-西安交通大学三

真  空  科  学  与  技  术 第 21 卷  第 5 期                             356 ( ) VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY CHINA 2001 年 9 月   微分代数在高阶复合几何像差色像差分析中的应用 程  敏  唐天同  姚振华 (西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系  西安  710049) Differential Algebra Analysis for High Order Combined Geometricchromatic Aberrations Cheng Min ,Tang Tiantong ,Yao Zhenhua Department of Electronics Science and Technology , School of Electronics and Information Engineering , Xi ’an Jiaotong University , Xi ’an , 710049   Abstract  High order combined geometricchromatic aberrations were calculated with Differential Algebra ,a method which is capable of directly evaluating arbitrarily highorder derivatives with accuracy up to the upper limit of the computer to be used. Arbitrary order transfer properties of the system can be expressed in term of Differential Algebra. The corresponding differential algebraic coefficients of the 1st to the 3rd order combined geometricchromatic aberrations were given. Specific demonstration of this new technique was shown in the calculation of an electrostatic electron lens ,whose axial potential density can be analytically described.   Keywords  Differential algebra ,Geometricchromatic aberration ,Electrostatic electron lens 摘要  微分代数是计算机数值计算领域中的一种强有力的新型数学方法 ,它为任意高阶微分的计算提供了一种可达到    机器精度的极为简便的手段。本文根据微分代数的基本原理 ,研究了它在高阶复合几何像差色像差分析计算中的应用 ,得到 了系统的任意阶传递性质的微分代数表示 ,并具体给出了一至三阶复合几何像差色像差所对应的微分代数系数。文中还以 一个轴上电位分布具有解析表达式的静电电子透镜为例 ,计算了它的一至三阶复合几何像差色像差系数 ,并给出了一阶色差 分布图形。 关键词  微分代数  几何像差色像差  静电电子透镜

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