基于多体系统理论的精密检测平台空间误差建模与补偿 volumetric error modeling and compensation of precision measuring platform based on multi-system theory.pdfVIP

第35卷第4期 兵 工 学 报 V01．35No．4 201 4年4月 ACTAARMAMENTARII Apr． 2014 基于多体系统理论的精密检测平台空间误差建模与补偿 张东旭，杨平，杨峰，王詹帅，谢银辉，郭隐彪 (厦门大学机电工程系，福建厦门361005) 摘要：针对大口径光学元件精密检测平台的工作特点及影响其空间误差的各项几何误差因 素，运用多体系统理论，用低序体阵列描述多体系统拓扑结构，建立一种空间误差数学模型。综合 应用激光干涉仪、球杆仪和激光位移传感器等仪器设备，提出大口径光学元件精密检测平台各项几 何误差和空间误差的测量方法，并对模型中所涉及的各项几何误差进行了系统分析和全面测量，对 空间误差进行补偿。误差补偿实验证明所提模型正确有效，将空间误差从补偿前一70．01～22．14斗m 降低到补偿后一4．22～5．8仙m，大大提高了精密检测平台的测量精度。 关键词：仪器仪表技术；精密检测平台；多体系统理论；空间误