IWKAI FS中文样本.pdf

通过增加冲程速度， 成功开发出小型轻量低成本系列。 FS系列是最新式的气动风囊泵，是IWAKI在积累多年的经验和成果的基础上应用高度的专有技术开发而成的。 通过增加泵的冲程速度，减小了产品尺寸、降低了产品重量及制造成本。 FS系列泵操作方便，液温范围大。 泵的心脏部采用通用R型风囊，实现了高压吐出，确保了长寿命。 FS系列可胜任各种艰巨任务： 从清洗液循环和CMP研磨液循环及化学液体的供给。 高速冲程 液温范围大/高压吐出 通过增加泵的冲程速度(最大可达240spm)，减小了尺寸、降低了重 由于可在5～180℃的温度范围内输送液体，且吐出压力达0.45MPa， 量及制造成本，同时减少了脉动。 因而该系列泵不仅可用于清洗及CMP研磨工艺，还可用于化学液体 注：泵的冲程视型号而定。详情请参见规格一览表。 的供给。 无污染设计 设备维护 所有与液体接触的零件都采用氟树脂制成。这样设计的目的是 接近开关可在不拆卸泵的情况下更换，无需定期紧固双头螺栓， 为了确保泵的金属部分不会暴露于液体。泵的外表面也涂有氟树 减少了停机时间。 脂。通过使用IWAKI自行开发的轴封(专利申请中)，显著降低了 空气室轴封颗粒的产生。 传感器驱动方式 该泵通过内置接近开关传送信号使电磁阀转向。 因此，与各种控制器连接后，可方便地控制或管理吐出。 1 气动风囊泵 安装示例 硅片湿法清洗设备 过滤器 控制器 化学液体 补充泵 缓冲器 循环泵 控制器 系列 化学液体供给系统 缓冲器 过滤器 循环泵 控制器 贮罐 系列 研磨液供给设备 各种补充化学液 缓冲器/加压阀 控制器 马达驱动器 值调整、 电