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第五章 薄膜的性质 第五章 薄膜的性质 为了对薄膜的材料、用途、功能等客观地 为了对薄膜的材料、用途、功能等客观地 进行评价，需要测定薄膜的各种特性和效 进行评价，需要测定薄膜的各种特性和效 应。 应。 本节所讨论的内容，不是以作成器件为测 本节所讨论的内容，不是以作成器件为测 试对象，而仅是以薄膜材料的形式为测试 试对象，而仅是以薄膜材料的形式为测试 对象。 对象。 第一节 薄膜的力学性能 第一节 薄膜的力学性能 薄膜大都是附着在各种基体上，因而薄膜和基体之 薄膜大都是附着在各种基体上，因而薄膜和基体之 间的附着性能将直接影响到薄膜的各种性能，附着 间的附着性能将直接影响到薄膜的各种性能，附着 性不好的薄膜无法使用。 性不好的薄膜无法使用。 薄膜在制造过程中，其结构受工艺条件的影响很 薄膜在制造过程中，其结构受工艺条件的影响很 大，薄膜内部产生一定的应力。基体材料与薄膜材 大，薄膜内部产生一定的应力。基体材料与薄膜材 料之间的热膨胀系数的不同，也会使薄膜产生应 料之间的热膨胀系数的不同，也会使薄膜产生应 力，过大的内应力将使薄膜卷曲或