水洗废气处理系统-centrothermcleansolutions.PDF

CT-W 水洗 废气处理系统 概述 CT-W水洗废气处理系统能够处理多种工艺所产生废气。相对于 其他市面上的普通水洗废气处理系统，本系统采用特殊设计捕捉 废气中高达99%的粉尘。捕捉下来的粉尘将随着废水一同排放。 CT-W水洗废气处理系统能够高效处理HCl、HF、SiH Cl 、 2 2 SiCl 、NH 以及其它酸性和碱性气体。该系统自动监控主生产设 4 3 备的运行状态并最小化废气处理的运行成本。 CT-W具有四个 独立的废气入口，每个入口均设有一个旁路。填满拉西环的水洗 床装有数个高性能逆流喷雾喷嘴，因此即便是在高废气流量的状 态下，CT-W仍旧能够保持极高的处理效率。本系统可处理高达 3000 slm的废气总量，并可连接到大气压或低压工艺腔。根据要 处理的气体种类的不同，该系统可将碱液或酸液中和剂自动加入 水箱。 CT-W可加装N 文丘里管、废气入口加热带、机械活塞式废气进 2 口自动清洁装置等特殊设计，能够有效降低废气入口阻塞的问题 (特别适用于使用WF 、BCl 、AlCl 、NH Cl的工艺)，因而能够 6 3 3 4 大幅降低您的维护频率和运行成本。 应用  沉积工艺  蚀刻工艺  外延工艺 行业  半导体  光伏  LED  学府和研究机构 流程示意图 1. 废气进口 2. 旁路 3. 废气进口清洁装置 4. 文丘里管喷嘴 5. 循环水喷嘴 6. 水箱 7. 水洗腔 8. 拉西环 9. 过滤器 10. 清水进口 11. 净化气体出口 12. 加酸/碱泵 13. 酸/碱液桶 14. 防漏托盘 15. 循环水泵 16. 废水排放泵 特点和优势  高达99.99%的废气及粉尘处理效率(DRE)  大于99%的运行时间  高达3,000slm的废气总处理量  高达6个独立的废气进口  针对您的工艺要求来定制系统功能，包含:  机械活塞式废气进口自动清洁装置，增长维护间隔时间  符