种考虑可制造性的高性能多层布线算法-计算机工程与科学.PDF

维普资讯 CN43—1258／TP 计算机工程与科学 2008年第 30卷第 3期 ISSN 1007—130X C／)MPUTERENGINEERING SCIENCE Vo1．30，No．3，2008 文章编号：1007—130X(2008)03—0069—03 一 种考虑可制造性的高性能多层布线算法 A High-PerformanceMultilayerRoutingAlgorithm ConsideringManufacturability 张国萍 ．谢满德 ZItANG Guo-ping~。XIEMan-de* (1．浙江理工大学信息电子学院，浙江杭州 310018；2．浙江工商大学计算机与信息工程学院，浙江 杭州310018) (1．SchoolofInformationandElectronics。ZhejiangSci-TechUniversity-Hangzhou310018； 2．SchoolofComputerandInformationEngineering。ZhejiangGongshangUniversity-Hangzhou310018．China) 摘 要：本文采用改进的“V”字型布线流程，提 出了一个考虑可制造性的多层布线算法，通过粗化和细化两个阶段完 成布线。粗化阶段进行资源估计，在 “V”字型框架的最底层通过多商品流算法获得总体布线的粗略解；细化阶段通过基于 图的Steiner树方法细化布线拓扑树。详细布线采用改进的非均匀网格图，通过考虑OPC的迷宫布线算法，提高设计的可 制造性。 Abstract：Basedon theimprovedV-shaperoutingflow，ahigh-performancemultilayerroutingalgorithm considering manufacturabilityispresented，andtheroutingisfinishedbycoarseningfollowedbyuncoarsening．h thecoarseningstep，a resourceestimationisdoneandaninitialglobalroutingresultisgeneratedbyamulticommodityflow algoritmh atthecoar— sestlevel；intheuncoarseningstep，theroutingtopologyisrefinedbyagraph-basedSteinertree．Thedetailedroutingerfl— ploysamazeroutingalgoritmh consideringOPC，whichemploysanimprovednon-uniform graphformiprovingthemanufac— turability． 关键词：资源估计；OPC；非均匀网格图；可制造性 Keywords：resourceestimation；0PC；non-uniforrngraphmanufacturability 中图分类号：TP391．72 文献标识码：A 因素，从而使一些图形 由于原始形状限制无法进行充分的 1 引言 OPC校正处理。所以，只有将制造中的参数、成本函数，向 上传递到物理设计和优化的关键阶段，如布局和布线 ，而且 深亚波长光刻造成的光刻图形畸变带来了成 品率降 对设计产生充分的影响，才是真正意义上的可制造性设计 。 低、可靠性下降等一系列可制造问题，进而增加了芯片的设 许多文献已经指出[】]，物理设计 阶段特别是布线阶段就 计与制造成