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~You Component Our Profession~ Http:// 强 茂 半 导 体 PANJIT SEMICONDOUCTOR Http:// By：Evan luo 2010-4-22 ESD基础篇 ESD测试标准篇 目 录 ESD应用篇 ESD器件篇 什么是ESD？ ESD是代表英文Electrostatic Discharge即“静电放电”的意思。 什么是静电放电： ◆严寒的冬天，当你脱下毛衣，听到劈劈啪啪声 ◆干燥的冷天，当伸手去开窗户，感到触电感觉 ◆用手去抚摸家里的猫，发现猫竟然怒发冲冠 这些就是静电瞬间泄放(ESD) 产生的现象。静电瞬 间泄放导致电子零件的损坏,此种破坏是由于静电存 在所产生的高压将零件受损或破坏。 静电放电的产生： ◆通常物体保持电中性状态，这是由于它所具有的正负电荷量相等的缘故。如果两种不同材料的物件因直接接触或静电感应而 导致相互间电荷的转移，使之存在过剩电荷，这样就产生了静电。 ◆静电就在您的周围– 人在走路或跑步就可以产生可观的静电。 下面是一个量测人体静电的实验： 静电压量表 不锈钢板 人(不带静电环) (Static Locator) ( 12〞x 12〞) 绝缘架 量测时温度为24.5℃，相对湿度RH 为55 %。 一般地面 鞋子(皮鞋或球鞋) 导线 ESD就在我们周围 A)上述条件测量结果 所穿鞋子 动作 产生静电压(Volts) 皮鞋 原地慢速踏步 150~200 皮鞋 原地快速跑步 200~250 球鞋 原地慢速踏步 200~250 球鞋 原地快速跑步 250~350 B)当不同条件下，静电压之变化 产生方法 10%~20%相对湿度 65%~95%相对湿度 走过地毯 35,000 1,500 走过塑胶地毯 12,000 250 在椅子上工作 6,000 100 拿起塑胶文件夹 7,000 600 工作椅垫摩擦 18,000 1,500 ESD就在我们周围 ESD对半导体元件的破坏 ◆日常生活中，ESD (Electro-Static Discharge，静电放电) 对于我们来说是一种常见的现象，然而对电子产品而言，ESD往往是致命的—它可能导致元器件内部线路受损，直接影响产品的正常使用寿命，甚至造成产品的损坏。 ◆电子产品轻薄化的发展趋势使其对ESD防护要求越来越高，因此，电路设计必须提供一个有效的ESD和瞬态保护。 ◆静电导致大约25％的集成电路故障，并因此客户要求保修索赔。 ◆随着半导体工艺向65nm 45nm以下转移，芯片集成度不断提高，IC外形尺寸变越来越小，但同时也更容易受到ESD损坏。 各半导体材料抗ESD能力比较 ◆由上可知，大体而言只要100V以上的静电压就可以对半导体产生伤害。 晶片种类 静电破坏电压(Volts) MOSFET 100~200 EPROM 100~ JFET