镀膜技术十个主要问题及答案-深圳大学薄膜物理与应用研究所.DOC

镀膜技术十个主要问题及答案 问题： 镀膜技术可区分为那几类? 可区分为：(1)真空蒸镀 (2)电镀 (3)化学反应 (4)热处理 (5)物理或机械处理 常用的真空泵浦有那几种?适用的抽气范围为何? 真空泵浦可分： (1)机械帮浦 (2)扩散泵浦 (3)涡轮泵浦 (4)吸附泵浦 (5)吸着泵浦 真空泵浦抽气范围： 泵 浦 抽 气 范 围 机 械 泵 浦 10-1 ~ 10-4 毫巴 扩 散 泵 浦 10-3 ~ 10-6 毫巴 涡 轮 泵 浦 10-3 ~ 10-9 毫巴 吸 附 泵 浦 10-3 ~ 10-4 毫巴 吸 着 泵 浦 10-4 ~ 10-10 毫巴 电浆技术在表面技术上的应用有那些? 1)溅浆沉积：溅镀是利用高速的离子撞击固体靶材，使表面分子溅离并射到基材镀成一层薄膜，溅射离子的起始动能约在100eV。常用的电浆气体为氩气，质量适当而且没有化学反应。 (2)电浆辅助化沉积：气相化学沉积的化学反应是在高温基材上进行，如此才能使气体前置物获得足够的能量反应。 (3)电浆聚合：聚合物或塑料薄膜最简单的披覆技术就是将其溶剂中，然后涂布于基板上。电浆聚合涂布法系将分子单体激发成电浆，经化学反应后形成一致密的聚合体并披覆在基板上，由于基材受到电浆的撞击，其附着性也很强。 (4)电浆蚀刻：湿式碱性蚀刻，这是最简单而且便宜的方法，它的缺点是碱性蚀刻具晶面方向性，而且会产生下蚀的问题。 (5)电浆喷覆：在高温下运转的金属组件须要有陶瓷物披覆，以防止高温腐蚀的发生。 蒸镀的加热方式包括那几种?各具有何特点? 加热方式分为：(1)电阻加热 (2)感应加热 (3)电子束加热 (4)雷射加热 (5)电弧加热 各具有的特点： (1)电阻加热：这是一种最简单的加热方法，设备便宜、操作容易是其优点。 (2)感应加热：加热效率佳，升温快速，并可加热大容量。 (3)电子束加热：这种加热方法是把数千eV之高能量电子，经磁场聚焦，直接撞击蒸发物加热，温度可以高达30000C。而它的电子的来源有二：高温金属产生的热电子，另一种电子的来源为中空阴极放电。 (4)雷射加热：激光束可经由光学聚焦在蒸镀源上，产生局部瞬间高温使其逃离。最早使用的是脉冲红宝雷射，而后发展出紫外线准分子雷射。紫外线的优点是每一光子的能量远比红外线高，因此准分子雷射的功率密度甚高，用以加热蒸镀的功能和电子束类似。常被用来披覆成份复杂的化合物，镀膜的品质甚佳。 它和电子束加热或溅射的过程有基本上的差异，准分子雷射脱离的是微细的颗粒，后者则是以分子形式脱离。 (5)电弧加热：阴极电弧沉积的优点为：(1)蒸镀速率快，可达每秒1.0微米 (2)基板不须加热 (3)可镀高温金属及陶瓷化合物 (4)镀膜密高且附着力佳 五、真空蒸镀可应用在那些产业? 主要产业大多应用于装饰、光学、电性、机械及防蚀方面等，现就比较常见者分述如下：1.镜片的抗反射镀膜(MgO、MgF2、SiO2等)，镜片置于半球支顶，一次可镀上百片以上。 2.金属、合金或化合物镀膜，应用于微电子当导线、电阻、光电功能等用途。 _ 3.镀铝或钽于绝缘物当电容之电极。 4.特殊合金镀膜MCrAlY具有耐热性抗氧化性，耐温达1100OC，可应用须耐高温环境的工件，如高速切削及成形加工、涡轮引擎叶片等。 5.镀金属于玻璃板供建筑物之装饰及防紫外线。 6.离子蒸镀镀铝，系以负高电压加在被镀件上，再把铝加热蒸发，其蒸气经由电子撞击离子化，然后镀到钢板上。 7.镀铝于胶膜，可供装饰或标签，且镀膜具有金属感等。最大的用途就是包装，可以防潮、防空气等的渗入。 8.机械零件或刀磨具镀硬膜(TiC、TiN、Al2O3)这些超硬薄膜不但硬度高，可有效提高耐磨性，而且所需厚度剪小，能符合工件高精度化的要求。 9.特殊合金薄片之制造。 10.镀多层膜于钢板，改善其性能。 11.镀硅于CdS太阳电池，可增加其效率。 12.奈米粉末之制造，镀于冷基板上，使其不附着。 六、TiN氮化钛镀膜具有那些特点? 有以下的优点：(1)抗磨损 (2)具亮丽的外观 (3)具安全性，可使用于外科及食品用具。 (4)具润滑作用，可减少磨擦。