系统建模及性能分析实践.pptVIP

精密制造平台振动控制系统建模与性能分析 设计精密制造平台振动控制系统 建立数学模型 进行时域和频域特性分析 进行系统仿真 广州大学机械与电气工程学院 华中科技大学出版社 精密制造平台振动控制实验系统 精密制造平台振动控制 拾振器 空气弹簧 高度控制阀 平台 超磁致伸缩致动器 拾振器 ? 振动模型与动力学方程 300 250 250 350 300 350 Y X G AS1 AS3 AS2 AS4 A1Z A2Z A3Z A4Z A5Y A6X A7Y A8X S1Z S2Z S3Z S4Y S5X S6Y 致动器 空气弹簧 传感器 高度控制阀 Z X G A8X A6X A2Z A4Z S1Z S4Y A5Y AS1 AS2 530 200 120 精密制造平台主动隔振系统结构简图 平台 精密制造平台隔振系统分析模型 Z X G KX1 CX1 CZ1 KZ1 fa4 CX2 KX2 KZ2 CZ2 fa6 KX3 CX3 KY3 CY3 KX1 CX1 KY1 CY1 KX4 CX4 KY4 CY4 KX2 CX2 KY2 CY2 Y X G θ fa8 fa2 fa6 fa8 fa7 · · · · fa5 fa1 fa2 fa3 fa4 fa5 L4 L1 L2 L3 L5 L6 L7 L8 L9 L10 将精密制造平台当作刚体，因而隔振系统可以用6自由度系统来描述：重心G沿X、Y、Z轴的3个平动位移(xg, yg和zg)，绕X、Y、Z轴的3个旋转角位移(θX,θY和θZ)。 精密制造平台隔振系统的运动微分方程: ? 振动模型与动力学方程 （2-1） ? 振动模型与动力学方程 ? 振动模型与动力学方程 动力学方程的简化 对系统作如下假设 ： 4个空气弹簧的性能完全相同，每个空气弹簧的垂直刚度均为CSV、水平刚度（X、Y方向）均为CSH. 空气弹簧刚度中心与重心G重合，即L9=0。 则微制造平台隔振系统的动力学方程（2-1）可简化为： （2-3） 模态分析实验 ? 微制造平台隔振系统实验模态分析 表2.1 微制造平台隔振系统模态实验结果 模 态 1 2 3 4 5 6 ? Z Y X θX θY θZ 模态共振频率(Hz) 1.81 2.37 2.58 2.91 3.04 4.40 模态矩阵 沿X轴平动 沿Y轴平动 沿Z轴平动 绕X轴转动 绕Y轴转动 绕Z轴转动 0 0 1 0 0 0 0 1 0 0.144 0 0 1 0 0 0 -0.123 0 0 -0.246 0 0.823 0 0 0.163 0 0 0 0.980 0 0 0 0 0 0 1 模态阻尼比(%) 4.45 4.45 4.21 4.45 4.45 4.45 ? 微制造平台隔振系统实验模态分析 微制造平台隔振系统的模态坐标运动方程 方程式（2-1）可以变换到模态坐标： （2-1） （2-47） （2-50） （2-51） 也可表示为： 其中， 精密制造平台振动控制 传感器输出的位移 (d1—d6) 微制造平台重心位移(x1—x6) 模态位移(q1—q6) 模态控制电流 (um1—um6) 第i阶模态的模糊广义预测控制器 (i=1—6) {x}=[ψ]{q} {x}=[R]{d} 控制电流 (u1—u8) {um}=[ψ]T[Ka][D]{u} 位移传感器 微制造平台 超磁致伸缩致动器 空气弹簧 地基干扰 {x0} 直接干扰 {Fd} 正弦干扰作用下的振动控制仿真 精密制造平台振动控制仿真 * *