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阵列光开关驱动结构制作工艺的研究 study on processing technology of optical switches array driving structure
《半导体光电》2007年6月第28卷第3期 贾翠萍等： 阵列光开关驱动结构制作工艺的研究
材料、结构及工艺：
阵列光开关驱动结构制作工艺的研究
贾翠萍1，董 玮1，仲志成1’2，周敬然1，李元元1，陈维友1
(吉林大学1．电子科学与工程学院集成光电子国家重点联合实验室；2．计算机科学与技术学院。吉林长春130012)
摘 要： 采用KOH溶液湿法腐蚀制作阵列光开关的微反射镜上电极。腐蚀表面的不平整
的微反射镜阵列硅片进行抛光处理，抛光后微反射镜表面和腐蚀的(110)面均有较大的改善，并且
抛光不影响器件的结构，最后制作出了均匀一致的光开关阵列扭臂驱动结构。
关键词：光开关；KOH腐蚀；微反射镜；扭臂
中图分类号：TN256
on of Switches Structure
StudyProcessingTechnologyoptical ArrayDriving
JIACui—pin91，DONGWeil，ZHONG Jing—ranl，LIYuan—yuanl，CHENWei—youl
Zhi—chen91”，ZHOU
(1．State ofEleclronic
KeyLaboratory蚰Integrateopt∞lectr蚰i鹳，Co¨egeScienc髑Engineering；
of Scienceand
2．Departm蚰tComputer Technology，JiIinUnive璐ity，Changchun130012，CHN)
Abstract：Micromirrorsof switcheswerefabricated in
optical array byanisotropicetching
KoH The of isanobstacletofabricatethe
soIution． etched(1
aqueous roughness 10)planes
torsionbeam Itcanbesettledthereasonablemixtureratiosof and
structure． by HF，HN03
C00H．Theetched(1 becomesmoothandreactionresiduesonthe
CH3 10)planes
can in the
beremovedthismixture．Moreover，thearchitecturealmosthasno for sIow
change
etchratesofSiand inthe Itis tobeabetterto thefabrication
Si3 mixture．
N4 proved wayimprove
of switchtorsionbeam structure．
processoptical driving
words： beam
Key optic
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