直拉式单晶炉整体结构静力分析 static analysis of the machine structural of czochralski single-crystal furnace.pdfVIP

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2017-08-17 发布于上海
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直拉式单晶炉整体结构静力分析 static analysis of the machine structural of czochralski single-crystal furnace.pdf

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直拉式单晶炉整体结构静力分析 static analysis of the machine structural of czochralski single-crystal furnace

堑鱼茎鱼．蚕蚕团直拉式单晶炉整体结构静力分析杨润，彭曦，胡超，李淑娟 (西安理工大学机械与精密仪器工程学院，陕西西安710048) 摘要：TDR一120型直拉式单晶炉的底部多块垫铁的受力为超静定问题，从材料力学的角度。无法准确获得每块垫铁上的受力。采用ANSYS软件进行静力分析。建立机架部分有限元模型．以该单晶炉在不同工作情况下的受力为研究对象，对比分析了两种不同的方案下3种典型工况机架的变形情况和应力分布，利用软件后处理从微观应力云图提取来确定宏观力．进而获得炉体底座下各垫铁承受的力。通过计算出的各垫铁的支承力对比分析了两种方案下机架结构的稳定性要求，验证单晶炉机架结构静态性能，为单晶炉结构方案的改进提供依据。关键词：直拉式单晶炉；机架；静力分析；ANSYS后处理中图分类号：TN305 文献标识码：A 文章编号：1004．4507(2012)04．0024．06 StaticAnalysisoftheM achineStructuralofCzochralski Single-crystalfurnace YANGRun，PENGXi，HUChao，LIShu-juan (SchoolofMechanicalInstrumentalEngineering，Xi’anUniversityofTechnology，Xi’an710048，China) Abstract：The forcesacted on the supportivepartswhich are under the 1’DR一120 Czochralsk1 single．crystalfurnacearehyperstaticfrom theview ofmechanicalsofmaterialcannotbeobtained precisiononeachsupportivepart．ThispaperestablishesFEA modelofrackusingANSYSandstudies theforceacted on thesupportivepartsandthedeformationand stressdistribution ofrack in the differentwork siutationsin two schemeswhich theone isthatthe seven supportiveDartswithout linkagetheearthandanotheristhatfivesupportivepartslinkagetheearth．Usingthepost—processof ANSYS，theconcentrated forcerfom thestresscloud diagram andthen theforceactedon each supportivepartundertheufrnacebodyarebeachieved．Basedontheforceoneachsupportivepart，the stabilitVofmachineiSconductedandthestaticperfomr anceiSvalidatedintwoschemesrespectively whichprovidesthebasisforupdatingthestrucutreoftheTDR一120Czochralskisingle—crystalfumace． Keywords：Czochralskisingle-·crystalfurnace；Rack~Staticnaalysis；Post--processing 直拉式单晶炉是采用直拉法 (CZ)生产无位单晶锭的生产采用直拉式硅单晶炉。随着集成电错硅单晶的重要设备，目前世界上 80％以上的硅路产业的发展