现代分析测试技术 - SNS.ppt

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现代分析测试技术 - SNS

;;聚苯乙烯的二次离子质谱 ;;;可以在超高真空条件下得到表层信息; 可检测包括H在内的全部元素; 可检测正、负离子; 可检测同位素; 可检测化合物,并能给出原子团、分子性离子、碎片离子等多方面信息; 可进行面分析和深度剖面分析; 对很多元素和成分具有ppm甚至ppb量级的高灵敏度; ;;分析特点:不断剥离下进行SIMS分析—获得各种成分的深度分布信息; 深度分辨率:实测的深度剖面分布与样品中真实浓度分布的关系—入射离子与靶的相互作用、二次离子的平均逸出深度、入射离子的原子混合效应、入射离子的类型,入射角,晶格效应都对深度分辨有一定影响。 ;SIM/IMS材料表面面分布技术:空间分辨率可达亚微米量级;;表面探测深度:探测时对表面的破坏性 元素检测范围: 检测灵敏度:最小可检测的灵敏度,检测灵敏度对不同元素的差别; 微区分析能力:空间分辨率; 谱峰分辨率:元素的化学态的判断;是否易于识谱; 最优势特性:化学信息;微区分析;检测灵敏度;

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