HDI系統2.pptVIP

製程注意重點 內三盲孔製作： ● 蝕刻首五件AOI→底片無誤 ● 雷鑽靶檢視→對位無誤 ● 雷鑽：孔型控制 70 ~ 80 % ● 水平鍍銅：面銅 1 Oz ● 曝光須知： ? 1. 誤差值 65 um 以內，最大 ? 不得超過 80 um ? 2. 少量拒曝以 65 um 3 孔曝 ● 使用川寶曝光機 ? 或現場調配外層曝光 製程注意重點 內三線路製作： ● 使用川寶曝光機(或外層) ● 蝕刻首五件AOI→底片無誤 ● 同心圓檢視→對位無誤 ● 曝光須知：如銅窗 ? 1. 誤差值 65 um 以內，最大 ? 不得超過 80 um ? 2. 少量拒曝以 65 um 3 孔曝 ? 3. 曝光後目檢對準度，不得 ? 破 Ring 製程注意重點 三壓 (銅窗/外層壓合)： ● 菊花靶打靶：見靶打靶 ? 確定最佳準度 P.S. 相關規定見製程管制要點 ● 二撈：使用125 mil 銑刀 ? ? ? HDI缺口 三壓缺口 ? P.S. 檢查川寶 Pin孔須鑽透 ● 漲縮尺寸量測 ( 10 Pnls ) ? For 銅窗 / 外鑽 / 外層比較 ● 壓 0.5 Oz 銅箔 料號區 ? 後續注意事項同 +1+1 二壓後流程 製程管制要點 此製程管制要點主要針對 HDI 製程中漲縮變化及底片管控提出管理模式以應最終成品尺寸之需求 製程管制要點 漲縮值控制點： ● 埋孔漲縮 = L靶預設值 ● 埋孔層線路漲縮 = 填孔 / 刷磨結果 ● 內層漲縮 ● 銅窗 / 銅窗層線路漲縮 ● 銅窗 / 外鑽 / 外層線路漲縮 / 防焊文字 +1+1 無埋孔 有埋孔 +2+2 漲縮量測統一由 X-Ray 進行 製程管制要點 漲縮管理模式： 以 Sample 取得漲縮變化履歷 = 量產調整最佳預設值 漲縮預設值之產生：漲縮履歷表(列於料號途程表) 說明：● 同料號第一批 Sample 記錄漲縮數值，出Match底片? ● 後續批號由製前調整預設值，作為製程中比對用， ? 並一次出齊全套料號 Tooling 製程管制要點 漲縮記錄模式： ● 漲縮量測統一由製一課壓合人員以 X-Ray進行 ● 量測時，將鑽靶偏差設定為 0.1mil， ? 靶距 = 標準值 + 5 mil 漲縮記錄檔案命名：例 → 490330-1 一 壓： X → 490330A1 Y →一壓刷磨後： X → 490330V1 Y → 490330H1 二 壓： X → 490330B1 Y →三 壓： X → 490330C1 Y →製程管制要點 漲縮值比對模式： 說明：搭配量產中之批量(同一鍋) 管制法：1. 每階段量測之實際漲縮平均值與途程表上預設值 ?? 比對，在容許範圍內、歸類為 Level A，並依預 ? ? 設程式/底片進行製作 ? 2. 超出容許範圍訂為 Level B，重出程式/底片，管 ? ?制不得與其他製程品混雜