微波单片陶瓷电路技术研究 microwave monolithic ceramic circuit(mmcc) technology.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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微波单片陶瓷电路技术研究 microwave monolithic ceramic circuit(mmcc) technology.pdf

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微波单片陶瓷电路技术研究 microwave monolithic ceramic circuit(mmcc) technology

电子工艺技术第30卷第2期 Process ElectronicsTechnology 2009年3月微波单片陶瓷电路技术研究毛小红，高能武，项博，秦跃利 (中国电子科技集团公司第二十九研究所，四川成都610036) 摘要：微波单片陶瓷电路(MMCC)是一项新兴的薄膜集成技术，是将构成微波电路的要素尽可能采用薄膜电路的实现方式集成于陶瓷基片上，并采用微细实心金属孔及空气桥、介质跨接等工艺实现接地、跨接和互联，可大大提高集成度，改善微波产品的性能。对该项技术进行了简要的介绍，并对主要的工艺技术如微小实心孔及金属化、集成电容技术、介质桥技术进行了重点阐述，同时应用MMCC技术设计和制作了微波鉴相电路，达到了预期效果。关键词：微波；单片；陶瓷电路；薄膜中图分类号：TN454 文献标识码：A MicrowaveMonolithicCeramic MAO Yue—li Xiao—hong，GAONeng—WU，XIANGBo，QIN No．29Research (CETC Institute，Chengdu610036，China) akindofthinfilm monolithicceramiccir- Abstract：As integratedtechnology，MMCC(microwave ona alltheelementsofmicrowave circuitsceramicsubstratethinfilm euit)integrates integrated nearly by such like metalholeto toconnecteachother． technologies．Itadoptstechnologiestiny ground，airbridge MMCC canincrease levelofthinfilmcircuitand the ofmi— technologies integration improveperformance is crowave briefintroduction themain suchasti- products．The presented．Especiallyexplain technology metalhole andair kindofmicrowave ny technology，integratedcapacitytechnologybridgetechnology．A dividercircuithasbeen and MMCC designedproducedbyusing technology．Theexpectedperformance hasbeenachieved．