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一种高精度MEMS梳齿驱动器有限元仿真方法及试验
2012 年 6 月 图 学 学 报 June 2012
第 33 卷 第 3 期 JOURNAL OF GRAPHICS Vol.33 No.3
一种高精度 MEMS 梳齿驱动器
有限元仿真方法及实验
1, 2 1, 2 1, 2 1, 2
郭占社 ， 曹 乐 ， 赵 鑫 ， 樊尚春
（1. 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京 100191 ；
2. 精密光机电一体化教育部重点实验室，北京 100191 ）
摘 要：为解决目前 MEMS 梳齿电容驱动器由于边缘效应导致的理想计算模型计
算误差较大问题，利用有限单元法中的能量法，提出了一种对梳齿驱动器电容量进行精确仿
真计算的方法并以实际制作的微机械陀螺质量块上的 90 对梳齿驱动器为对象，分别利用该
方法及常用的 CMATRIX 仿真方法对其电容值进行了仿真计算。两种方法得到的电容量的计
算结果分别为 1.5283pF 和 1.5793pF。二者与利用高精度 LCR 测试仪得到的结果 1.5172pF
的相对误差分别为 0.73%和 4.09% 。实验结果表明，该方法对考虑边缘效应的 MEMS 梳齿
电容驱动器具有较高的计算精度。
关 键 词：MEMS；梳齿驱动器；边缘效应；有限单元法；能量法
中图分类号：TH 117.3
文献标识码：A 文 章 编 号：2095-302X (2012)03-0065-04
A new high precision simulation method for MEMS
comb actuator and the experiment
Guo Zhanshe, Cao Le, Zhao Xin, Fan Shangchun
( 1. School of Instrument Science and Opto-electronics Engineering, Beijing University of Aeronautics and Astronautics, Beijing 100191, China;
2. Ley Laboratory for Precision Opto-mechanics Technology, Ministry of Education, Beijing 100191, China )
Abstract: A new simulation method is introduced to solve the problem of high calculating
errors of the ideal model caused by the edge effect for MEMS (Micro-electromechanical System)
comb capacitor. In this method, the energy method in FEM (Finite Element Method) is used and
the MEMS comb actuator (90 pairs of comb teeth) which is fabricated on a MEMS gyroscope is
used for simulation. The simulated results of capacitance with this method and the conventional
method CMATRIX are 1.5283pF and 1.5793pF. The relative error
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