自动化技术与仪表 第二章检测技术与检测元件 第2.4节 电容式检测元件.ppt

2.检测技术与检测元件 什么是电容器？ 电容器由两个用介质（固体、液体或气体）或真空隔开的电导体构成。 概念:电容式检测元件可以将某些物理量的变化转变为电容量的变化。 优点：测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响应时间短、易实现非接触测量等。 由于材料、工艺，特别是测量电路及半导体集成技术等方面已达到了相当高的水平，因此寄生电容的影响得到较好地解决，使电容式传感器的优点得以充分发挥。 应用：用于测量压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等。 2.4.1 电容检测元件的工作原理 电容检测元件实际上是各种类型的可变电容器，它能将被测量的改变转换为电容量的变化，进而转变成电压、电流、频率等电信号。 按照极板形状，电容检测元件分为平板和圆筒形。 平板型电容器 当忽略该电容器的边缘效应时，其电容量C为 A—极板相对覆盖面积； d—极板间距离； εr—介质材料的相对介电常数,空气的εr =1； ε0 —真空介电常数，ε0 ＝8.85pF/m； ε —电容极板间介质的介电常数。 圆柱式线位移电容器 在不计边缘效应影响时， 圆柱式的电容器的电容量为 式中,l ——外圆柱筒与内圆柱重叠部分长度（高度）； R——外圆柱内径； r ——内圆柱外径。 当被测参数A（l）,ε或d发生变化时, 电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。 因此, 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。 改变平行极板间距d的电容式传感器可以测量微米数量级的位移、压力， 变化面积的电容式传感器则适用于测量厘米数量级的位移， 变介电常数的电容式传感器适用于液面、厚度的测量。 变极距(d)型: (a)、(e) 变面积型(S)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g) （h） 变介电常数(ε)型:（i）～(l) 1.变极距（间距）型电容传感器 极板面积为A，初始距离为d0，以空气为介质（er=1），电容器的电容为 若电容器极板距离初始值 d0减小Dd，其电容量增加DC，即 由上式，电容的相对变化量为(上式两侧同时除以C0) ，按幂级数展开得 略去非线性项（高次项），则得近似的线性关系式 电容传感器的灵敏度为 减小极间距，利于提高灵敏度。 物理意义：单位位移引起的电容量的（相对）变化量的大小。 略去高次项（非线性项）引起的相对非线性误差为 可见极间距越小，利于提高灵敏度，但是非线性误差增加——矛盾。且d0过小时，容易引起电容器击穿。 在实际应用中，为提高灵敏度，减小非线性，大都采用差动结构。 改善击穿条件的办法是在极板间放置高介电常数材料云母片等介电材料。 （3）差动变间隙式电容传感器 在差动式电容传感器中，其中电容器C1的电容随位移Δd 的减小而增大时，另一个电容器C2的电容则随着Δd的增大而减小。 它们的特性方程分别为 总的电容变化量 电容的相对变化量为 略去高次项,近似成线性关系 差动电容式传感器的灵敏系数为： 差动电容式传感器的相对非线性误差近似为 结论： 差动式比单极式灵敏度提高一倍，且非线性误差大为减小。 由于结构上的对称性，它还能有效地补偿温度变化所造成的误差。 （4）固定介质与可变间隙式电容传感器 减小极间隙可提高灵敏度，但易击穿。为此，经常在两极板间加一层云母或塑料等介质，以改变电容的耐压性能。由此构成如图所示的固定介质与可变间隙式电容传感器。 由关系 , , 当空气隙减小 ，使电容增加 ，有 电容的相对变化量为 当N1Δd1/（d1+d2）１，即位移很小时，上式按幂级数展开可写成 式中d1+d2=d 略去高次项可近似得到 可见N1为非线性因子，若增大N1，非线性增加。 灵敏度系数为: 同时，N1又是灵敏度因子，并且作为灵敏度因子与非线性因子是相互制约的。 厚度比（d2/d1）为自变量，固定介质的介电常数e2作参变量，看影响灵敏度和线性度的因子N1的变化。曲线如图所示。 因为e2总是大于1的，所以N1总是大于1的。 因为e21，随厚度比d2/d