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维普资讯 2008年第3期 上 海 电力 产线 由为 前 TCO 背 电极 设 置 的 LPCVD TCO1200、为 PIN 层 沉 积 设 置 的 PECVD KAI1200、激光划片器LLS1200和 精密的计量系 统 构成。 (2)Micromorph方案 显示 ,2010年可能在 ^£z£-6jl 达到一个里程碑 ,实现高峰电池板平价 [1。 逝 参考文献 : [1] PhotonInternationa1.March2006.100. 图6 Oerlikon的两代薄膜硅电池 [23 SarasinBank.SustainabilityReportNovember(2005):26. [3] DeutschBankreport2007. [43 M.A.Green.Proc.3rdWCPEC (Osaka2003).paper OPL,O2. E53 U.Kroll,eta1.Proc.ofl9thEu—PVESC(Paris2004). 137. [6] E.Turlot,F.Leblanc.NiKKeiMicrodevices(1999).151. E73 H.Sun,eta1.UnaxisDisplayPanelIssue3.2002:2l一23. [8] J.Meier,eta1.ProcofWCPEC-4,2006.Dresden,Ger— 电压,v m any [1O3U.Kroll,eta1.Proc.OfWCPEC-5,2007.Milan,Italy. 图7 非一/微~晶体硅模块 图 8 非一/微一晶体硅模块的 [11]H.Sun.eta1.PhotonAcademyinShenzhea,2008. 电流一电压曲线 (吕 斌 编译) 4 总结及展望

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