PMMA微流控芯片微通道尺寸的检测-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ２ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ２ Ｆｅｂ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０２０２１２０７ 　 ＰＭＭＡ微流控芯片微通道尺寸的检测 １ １ ２ １ １ １ １ 文伟力 ，左春柽 ，于建群 ，张学军 ，刘庆民 ，陈向伟 ，刘 岩 　 （ 吉林大学 机械科学与工程学院，吉林 长春 ； １． １３００２２ ２．吉林大学 生物与农业工程学院，吉林 长春 １３００２２） 摘要：研究了一种基于光电耦合器件（ ）及图像处理技术的聚甲基丙烯酸甲酯（ ）微流控芯片微通道几何尺寸 ＣＣＤ ＰＭＭＡ 的测量系统，论述了该系统的关键技术及其实现方法，包括图像的预处理、二值化、轮廓提取以及微通道尺寸的测量等。 利用该系统测量的微通道几何尺寸（ ）与轮廓仪和万能工具显微镜的测量结果吻合很好，最大测量误差为 １ １０００ ｍ ～ μ ２ ｍ（半深宽度），分析了测量误差产生的原因。检测实验结果表明：该检测方法提供的微通道几何尺寸评定正确可行、 μ 通用性好、应用简便，还可以避免轮廓仪在深结构测量中的误差。 关 键 词：微流控芯片；微细加工； 图像检测；尺寸测量；图像处理，二次标定 ＣＣＤ 　 　 中图分类号： ： 文献标识码： ＴＰ３９１．４ＴＢ９２ Ａ 　　 犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳犿犻犮狉狅犮犺犪狀狀犲犾狊 狅犳犘犕犕犃犿犻犮狉狅犳犾狌犻犮犮犺犻 狆 １ １ ２ ， ， ， ＷＥＮＷｅｉｌｉ ＺＵＯＣｈｕｎｃｈｅｎ ＹＵＪｉａｎｕｎ ｇ ｑ １ １ １ １