铸锭炉常见故障分析.docVIP

多晶硅铸锭炉常见故障维护浅析 许高升，孙玉虎，张阳 晶海洋半导体材料（东海）有限公司，江苏连云港 222000 摘要：本文重点介绍了太阳能级多晶硅铸锭炉的常见故障和突发事件的应急处理办法。 关键词：多晶硅；光伏；铸锭炉；设备维护 1 概述 近年来，太阳能光伏企业作为一种绿色无污染的新能源产业，在我国得到了快速的发展。多晶硅铸锭炉作为太阳能级多晶硅锭的主要和关键生产设备，正在被各大光伏企业广泛使用。作为一种自动化程度较高的智能化大型生产设备，它价格昂贵、维护成本高。一旦投料运行，它连续运行时间长，中间故障维修时间短，稍有不慎，将会造成重大生产损失。因此，熟练掌握多晶硅铸锭炉常见故障的快速识别和解决方法，对保证设备安全运行，提高产品质量，节约成本起到积极作用。 国内外生产多晶硅铸锭炉企业众多，在我国知名度和市场占有率较高的企业有美国极特先进太阳能有限公司，北京京运通特技股份有限公司，浙江精功科技等。下面，我们就以极特DSS45OHP铸锭炉为例来阐述多晶硅铸锭炉常见故障的维护问题。 2 铸锭炉的常见故障分析 多晶硅铸锭炉在自动运行时，必须保证机械和电器元件的各组成部分都有效、平稳、可靠、无故障。因此，做好设备的日常合理的维护和保养，是非常必要的。对设备的维护和保养，主要分为两个部分：一是定期的保养和维护；二是运行时发生事故的应急处理；其中，第一条最重要，平时的维护和保养做好了，就能达到防患于未然，提前将潜在的问题发现和排除，杜绝和减少自动运行时故障的发生。 2.1 定期的保养和维护 每炉检查项目：电阻、水流量、溢流丝、加热器螺丝松紧度、报警器是否正常、机械泵油位油压、进水温度及压力、TC管检漏、下炉体水平及清洁等； 周期性（3个月）检查和维护项目：比例阀清洁，隔热笼内部清洁，加热器清洁、高温计清洁、电柜内电器元件除尘、slimpaks电流校准、真空压力计校准等； 周期性（6个月）检查和维护项目：检查和紧固炉体传动装置螺丝，底炉腔提升丝杆结构清洁和真空泵电机上润滑脂，真空泵皮带、真空泵油、电器元件除尘、直流电源检测、电脑维护、泵排气滤芯检查等； 在维护和保养过程中常会遇到以下问题： 2.1.1电阻不够 1）陶瓷瓦片或氮化硼垫片损坏 在GT多晶硅铸锭炉上，质量优良的陶瓷瓦片能用8-12月，质量差的用几炉绝缘就有可能烧穿，表面碳化发黑。另外注意，在GT多晶硅铸锭炉上存在两个电阻，一是加热器和隔热笼（即炉体）的接地电阻；另外一个是加热器和顶部保温板的电阻；这两个电阻都要求2千欧以上，否则，可能出现在合炉过程中电阻波动剧烈或炉体合上后电阻变小甚至为0现象。 2）铸锭炉热场内部石墨件有搭接短路现象 电阻不够还可能是加热器吊杆螺丝松动接触顶部隔热板短路所致； 3）变压器二次侧有短路搭接情况 变压器二次侧线圈监测元器件接地短路，变压器线圈击穿烧毁或绝缘层被破坏都有可能导致整个炉体电阻不够。解决方法是脱开变压器和炉体的连接点，将炉体对地电阻分割为两部分分别测量排除。 4）加热器铜电极和炉体短路 加热器铜电极和其防护罩接触可能性最大；其次是检查加热器铜电极和炉体之间的绝缘垫片是否破坏。 2.1. 表现为水流量数值减小至规定值以下或为0，可能原因如下： 1）水流量计导线断路 检查水流量计的电源线和脉冲信号输出线是否正常，如不正常，将会造成水流量读数为0现象。查明原因，检修或更换。 2）水流量计旋转体运转不畅或水路积垢 = 1 \* GB3 ①水流量计旋转体是磁性材料，容易吸附金属颗粒造成运转不畅或卡住，会造成水流量数值减小或为0，需清除吸附的杂质； = 2 \* GB3 ②水管路系统积垢也会造成水流计数值减小，需冲洗管路。 3）水流量计电路板损坏； 由于漏水等原因易造成水流量计电路板损坏，这时电源线正常，无脉冲输出电压信号，需更换新的流量计（注意切断PLC电源，以免损坏PLC）。 4）水流量对应处理模块损坏； 此种情况一般会造成多路水流量为0。 2.1.3真空度不够 具体表现为抽空能力下降达不到平时的极限真空度、检漏通不过。可能原因如下： 1）真空泵抽空能力下降 此种情况最好将真空泵脱离铸锭炉系统，单独检测泵的真空度。如真空泵机组有问题，重点检查以下几点： = 1 \* GB3 ①：滑阀泵润滑油脏污或含有冷凝水。这时需蒸发掉水，必要时更换泵油； = 2 \* GB3 ②：滑阀泵机封损坏，这时在地面上会出现大量漏油。需更换新的机封； = 3 \* GB3 ③：滑阀泵排气阀片损坏，表现为滑阀泵抽气能力下降，罗茨泵抽气能力正常。这时需更换新的排气阀片