柔顺双稳态机构的研究现状与进展.pdfVIP

2010年 第29卷 第7期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 、 ＼ ＼ P 综述与评论 。 t 柔顺双稳态机构的研究现状与进展 王 娟，吴义伯，张丛春 ，丁桂甫 (上海交通大学 微纳科学技术研究院。微米／纳米加工技术国家重点实验室 薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海200240) 摘 要：由于柔顺机构和双稳态机构分别所具有的独特优势，已使柔顺双稳态机构成为 目前国内外研究 的新热点。综合论述了基于 MEMS技术的柔顺双稳态机构的最新研究成果，根据柔顺双稳态机构的驱动 机制，系统介绍了机械锁定型、电热锁定型、磁致锁定型、多耦合场锁定型等柔顺双稳态机构，针对其原理、 性能及应用等各个方面进行了综合比较。最后展望了柔顺双稳态机构的研究前景和可能遇到的问题与挑 战。 关键词：柔顺机构；双稳态；锁定机构；微机电系统 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2010)07-0001-03 Research andprogressoncompliantbistablemechanism WANG Juan，WUYi—bo，ZHANGCong—chun，DING Gui—fu (NationalKeyLaboratoryofNano／MicroFabricationTechnology，KeyLaboratoryforThinFilmand MicrofabricationofMinistryofEducation，ShanghmJiaotongUniversity，Shanghai200240，China) Abstract：Because ofthe unique characteristicsofboth compliantmechanism and bistable mechanism，the compliantbistablemechanism(CBM)hasbecomeoneofthehotestfieldsforresearchersallovertheworld．The latestdevelopmentonresearchofMEMS-basedcompliantbistablemechanism inrecentyearsisreviewed．Various actuationmechanisms have been used in the compliantbistable mechanism，including mechanicallatching， magneticlatching，electrothermallatching，multi-field coupled latchingcompliantbistable mechanism．And the workingprinciple，propertiesandapplicationsarealsocompared．Researchprospectsaswellassomeproblemsand challenges，withwhichmaybeconfrontedinthefuture，areoutlined． Keywords：compliantmechanism ；bistable；latchingmechanism；MEMS 0 引 言 对比分析了柔顺机构和双稳态机构的各 自功能，重点介绍 在当今机构学与 MEMS研究领域，具有双稳态特性的 了国内外柔顺双稳态机构的典型范例，按照驱动方式对柔 柔顺微机构，由于其易于加工、无摩擦、无间隙等优 良特性， 顺双稳态机构进行系统分类，并分析了各种类型的结构、性 应用前景广阔，引起了世界各国的广泛关注，并逐渐成为微