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碰撞对非对称射频鞘层特性的影响!-物理学报.pdf

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    第卷第期年月物理学报碰撞对非对称射频鞘层特性的影响芦岩王友年大连理工大学物理系大连年月日收到年月日收到修改稿对于大多数活性射频等离子体刻蚀工艺由于放电室中两个电极的面积不等使得两个电极附近的等离子体鞘层是非对称性的考虑离子与中性粒子的碰撞效应建立了一种描述这种非对称射频鞘层动力学特性的自洽动力学模型数值结果显示碰撞效应对极板上的瞬时电压降瞬时电子鞘层厚度鞘层内的离子密度和动能的空间分布以及两个极板上电压之差等物理量的影响关键词射频鞘层非对称电极碰撞效应离子外还假设了射频偏压电源的驱动电流是一个简

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