第1章-电子光学基础与电子透镜2.pptVIP

第一章电子光学基础 电磁透镜和静电透镜相比较： 第三节 电子透镜的缺陷和理论分辨距离 电子透镜的缺陷 几何像差是因为透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的； 色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。 第四节 电子透镜的场深和焦深 场深是指在保持像清晰的前提下，试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离，或者说试样超越物平面所允许的厚度。 焦深是指在保持像清晰的前提下，像平面沿镜轴可移动的距离，或者说观察屏或照相底版沿镜轴所允许的移动距离。 电子透镜与光学显微镜的比较 * 电磁透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远 小于理论分辨距离，对电镜分辨本领起作用的像 差有几何像差（球差、像散、像畸变）和色差。 * α P’ P’’ 透镜 物 P 光轴 球 差 最小散焦斑 N M 球差是由于电磁透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力不同而造成的。 球 差 最小散焦斑半径 * 还原到物平面上 消除方法 * 理想像 枕形畸变像 桶形畸变像 旋转畸变像 像 畸 变 像畸变是球差引起的。 * 像 散 PA PB 像散是由透镜磁场的非旋转对称而引起的。 ΔfA是由于象散而引起的焦距差 * 还原到物平面上 像 散 最小散焦斑半径 ΔfA是由于象散而引起的焦距差 电磁式消像散器 N S N S S S N N S S 形成因素 消除方法 * 色 差 色差是由于入射电子波长（或能量）不同造成的。 * 最小散焦斑，还原到物平面上，半径为 电子束能量变化的原因 消除方法 色 差 * 在电子透镜中，球差对分辨本领的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正，而其它象差，可以通过一些方法消除。 像差 * 电子透镜的理论分辨本领 衍射效应确定的透镜的分辨本领 电镜情况下 球差确定的透镜的分辨本领 * 电子透镜的理论分辨本领 考虑球差和衍射两种效应： 相应的最佳分辨本领： 相应的最佳光阑尺寸： * 目前通用的比较精确的理论分辨率公式和最佳孔径角公式为： 将各类电镜缺陷的影响减至最小，电子透镜的分辨本领比光学透镜提高了一千倍左右。 电子透镜的理论分辨本领 电磁透镜分辨本领大，场深大，焦深长。 电磁透镜所以有这种特点，是由于所用的孔径角非常小的缘故。这种特点在电子显微镜的应用和结构设计上具有重大意义。 * 场深示意图 焦深示意图 L1 L2 D1 2Mdmin P1 屏 透镜 α αi P Q Df L1 L2 透镜 象平面 2dmin 2Mdmin α α R * 焦深关系式 场深关系式 * * * * * * 第一节 电子光学基础 光的折射 * n1 n2 v1 v2 θ γ 光学透镜成像 * A B B’ A’ F F L1 L2 f 运动的微观粒子具有波动性，也就是说每一束匀速直线运动的微观粒子都与一个波相对应，这个波的波长?与粒子的运动速度v、粒子质量m之间存在以下关系： * (1-1) 电子的波动性及其波长 * 一个初速度为零的电子，在加速电压U的作用下获得的运动速度为?，根据能量守恒定律： (1-2) 因此， * 加速电压比较低时，电子运动速度比光速小得多，它的质量近似等于电子静止质量，即：m=m0。由式（1-1)和式（1-2）整理得： （1-3） * 把 h=6.626?10-34 J.s, e=1.602?10-19 C, m0=9.109?10-31 kg数值代入，式（1-3）可以简化为： 或者 (1-4) 推导上述式子的前提条件是：υc，所以它仅仅适用于加速电压比较低的情况下。 * 在电子显微镜中，一般电子的加速电压为几十至几百千伏，因此电子波长的计算，必须引入相对论校正。考虑电子运动的相对论效应，运动电子的质量为： （1-5） 相应电子的能量为： （1-6） * 将(1-1)、(1-5)和(1-6)三个式子整理，得到： （1-7） 把h、e、m0的值代入上式得到： （1-8） 其中λ的单位为埃?，U单位为伏特。 * 表1-1 电子波长(经过相对论修正) 加速电压(kV) 电子波长（ ? ） 加速电压(kV) 电子波长（ ? ） 1 2 3 4 5 10 20 30 0.388 0.274 0.224 0.194 0.173 0.122 0.0859 0.0698 40 50 60 80 100 200 500 1000 0.0601 0.0536 0.0487 0.0418 0.0370 0.0251 0.0142 0.00687 * U1 U2 v1 v2 θ γ vt1 vt2 电场中等电位面与光学系统中两介质界面起着相同的作用。 电子在静电场中的运动 o * 电子在磁场中的运动 * 第二节 电磁透镜 * 静电透镜 光学玻璃