mic多晶硅薄膜的光学与电学特性及其优化 study of the electronic and the optic characters mic poly-si thin films and the optimization.pdfVIP

兴电字·藏光 of V01．19No．10Oct．2008 第19卷第10期2008年10月Journal Optoelectronics·Laser ·材料· MIC多晶硅薄膜的光学与电学特性及其优化* 李 阳一，孟志国，吴春亚，熊绍珍 (南开大学光电子所，天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室，天津300071) 摘要：制备了4种P型掺杂的多晶硅薄膜；固相晶化(SPC)、金属诱导(MIC)、准分子激光晶化(ⅡA)和低压化学 气象沉积(LPCVD)多晶硅薄膜，并且研究了它们的光学特性与电学特性。结果发现，MIC多品硅薄膜具有最小 的可见光吸收率；ELA和MIC有较小的方块电阻，而SPC和LPCVD方块电阻较大。最后通过对MIC多晶硅 薄膜厚度的优化表明，厚度为40nm的MIC多晶硅薄膜最适合做有机电致发光器件的像素电极。 关键词：多晶硅薄膜电极；光学特性；电学特性；有机电致发光器