perl si基led的几种关键技术分析 analysis of key technologies in perl si-based led.pdfVIP

光机电研究论坛 PRLS E E i基LD的几种关键技术分析 刘伟1，牛萍娟1，李晓云1，郭维廉1，2 摘要：Si材料在微电子集成领域有着不可替代的地位。然而，在光电集成领域，由于Si为间接带隙半导体 材料。Si材料本身并不是很适合用来制作发光器件。但是，成熟的微电子制造技术促使Si基光电器件的研 究受到了越来越多的关注。本文介绍了在全硅发光取得新突破的PERL型Si基LED，分析了该结构中提高发 光效率的关键技术。并对此结构进行评述，给今后的全硅发光研究领域提供了一个新的思路。 关键词：PERL；硅基LED：光陷阱；转换效率 中图分类号：，IN312．8 LED of inPERLSi-based AnalysisKeyTechnologies HU Wei-lianlt2 Weil，NIU Ping-