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纳米光（纤/电）传感器 黎 敏 Ph.D. min.zoe@ 参考文献： 《光纤传感器及其应用技术》，黎敏、廖延彪，武汉大学出版社，2008 《光子学－技术与应用》，刘颂豪主编，广东经济出版社，2006 光学传感器篇 《光微机械电子学》，[日] 板生清,保坂宽,片桐祥雅 ，科学出版社，2002-7 大象与蚂蚁 震动和冲击 比例和形状因素 承重能力 蜘蛛丝与钢铁对比 强度:钢的6倍 在-60℃时,仍保持良好的弹性 内含防腐物质 青蛙、水黾、壁虎 壁虎粘附系统 决不尝试模仿自然 例如:仿生研究 蜘蛛结网 物质的比例—纳米及其它 自然物质 人造物质 转变：从微米到纳米 20世纪-微电子和信息技术 ?? 半导体、计算机和电讯 21世纪-微系统技术的限制 ?? 摩尔定律(Gordon Moore)?4nm ?? 不适合硬盘驱动器容量 纳米技术 摩尔定律和Rock定律 摩尔定律 芯片上的晶体管数量每18个月翻一番 Rock定律：专门衡量摩尔定律的一个规则 芯片工厂的组装成本每四年会翻番。 现在，新的组装工厂会耗资数十亿美元 出于成本原因，绝大多数的芯片公司现在并不拥有组装工厂 微电子技术 为满足摩尔定律， 线宽(半间距)要求 100nm 2005 70nm 2008 50nm 2011 35nm 2014 大气密度、硬盘 纳米光（纤）传感器 纳米技术基础 纳米光电传感器 纳米光纤及其传感应用 什么是纳米技术？ NEMS的研究对象 原子和分子水平的制造、加工、设计、分析、优化、集成及合成等 新型材料（碳纳米管、分子线等）的应用和新的制造技术 需要解决的问题： 大规模制造、组装和自组装 新型高性能NEMS的设计：纳米开关、逻辑门、驱动器和传感器的设计、研究、优化和制造等。 纳米技术的发展历程 仿生系统 生物纳米马达－鞭毛复合体 纳米科学的基本效应 纳米制造技术 纳米传感器的典型结构 纳米探针携带激光光束(深色)穿透活细胞探测癌症标识物质 碳纳米管 1985，Kroto(Sussex U.)和Smalley（Rice U.)：笼状的C60接触石墨电极，在He气氛中通电?大量生产Fullerens。 1991，Ijima：两个电极—产生电火花，阴极发现 “碳针”?多壁碳纳米管(MWNT) 添加Co或Fe的石墨电极?生长出单壁碳纳米管（SWNT）， 多壁（a/c)与单壁(b)碳管 碳纳米管的特性 碳纳米管传感器 将碳纳米管：传感器导线?实现特殊的电性能和传感器的微型化 近场光学元件 NEMS结构：利用渐逝波的方便途径。 光学领域，纳米孔径和暴露的平面波导?产生渐逝波场。 近场扫描光学显微镜 = MEMS悬臂梁＋纳米孔径 光学镊子 强聚焦光?操作数微米尺寸的微粒。 目前还没有基于NEMS技术的光学镊子，仅有集成的MEMS光学镊子（补充－纳米技术）?操作微化学系统中的粒子甚至分子 生物结构--在人类细胞水平上被修改。这对于人类健康和保健的意义是惊人的。 纳米生物器件 生物分子电机 美国Cornell大学 ATP分子＋金属镍制成的桨片＋金属镍柱体 Φ150nm×750nm Φ80nm×200nm） 平均速度4.8trn/s，运行时间长达40min～2.5hrs 纳米谐振器： 美国Georgia Polytechnic. 通过其共振频率的变化可称出30fg的碳微粒的质量。?分子秤(分子或细菌的质量) 纳米传感器 纳米气体传感器 微机械加工的纳米级SNOM传感器 scanning near-field optical microscope 微纳光纤 微纳光纤及其特性 微纳光纤传感器 微纳光纤 传输特性 倏逝场 倏逝场 倏逝场 传输损耗 弯曲损耗 机械强度 微纳光纤传感器原理 强度检测 相位检测 微光纤环谐振腔传感器 实验结果-例1 测量液体折射率— Optical Sciences Center, University of Arizona, USA 光纤直径 ~ 700 nm; 长度 3 cm; λ~ 1500 nm 实验结果-例2 测量氢气浓度 — Centro de Investigaciones en Optica, Mexico 微纳光纤传感器 的潜在优势和应用 优势 尺寸小 灵敏度高 响应速度快 微量检测 新型器件 潜在应用方向 物理传感器 化学生物传感器 其他 Quantum Dots （量子点） 什么是量子点？ 准零维（quai-zero-dimensional )纳米材料 3维100nm～点 量子局限效应显著?不连续能带结构?artificial atom 费米波长(波动性） 半导体 40nm 金属 0.36nm 制造方法 chemical collo