准分子激光应用于铝合金和不锈钢微抛光的试验研究.PDFVIP

准分子激光应用于铝合金和不锈钢微抛光的试验研究∗ 陈涛，刘勋，左铁钏 国家产学研激光技术中心，北京工业大学激光工程研究院，北京：100022 摘要：本论文对深紫外波段的248nmKrF 准分子激光应用于铝合金（7075 ）和不锈钢（304 ）的微抛光进行 了研究，简要分析了激光微抛光的机理，并且对合金材料进行试验研究，探讨微抛光效果和激光参数之间 的关系。试验中改变激光工作电压，激光脉冲频率和激光脉冲数三个实验参数，对抛光后的样品测量表面 粗糙度。通过试验研究，得到应用准分子激光对两种合金材料进行抛光时可达到的最小粗糙度。 关键词：准分子激光，激光抛光，铝合金，不锈钢 Research of Micro Polishing on Aluminum alloy and Stainless steel by Excimer laser CHEN Tao, LIU Xun, ZUO Tiechuan National Center of Laser Technology, Beijing University of Technology, College of Laser Engineering, Beijing: 100022 Abstract: Micro polishing of alloys by excimer laser was researched in this paper. The mechanics of laser micro polishing was analyzed and experiment on alloys was made for studying the relationship between polish’s effects and laser’s parameters. The laser source is 248nm KrF excimer laser. The alloys were Aluminum alloy 7075 and Stainless steel 304. Test materials were polished, with changing the laser working voltage, pulse frequency and pulse count, and their surface roughness were measured by profile meter. Through experiment, the maximal surface roughness could be obtained as for alloys in use. Keywords: Excimer laser, Laser polishing, Aluminum alloy, Stainless steel 引言 抛光在近代加工技术发展中是十分重要的工艺环节。随着工业化程度的提高和广义经济活动的加剧， 抛光工艺不断产生和丰富，形成了针对不同材料和加工要求的多种方式。研磨抛光（机械）、化学抛光、 电解抛光、火焰抛光等等。已有的抛光方法中，抛光液、磨料、磨具和加工工件都有接触，这种接触一方 面可能对材料产生机械变形和其他作用，另一方面表面导致的污染物容易产生表面锈蚀、着色等化学影响， 需要进行镀膜等后续表面处理工艺。 激光抛光是随着激光技术的发展而出现的一种新型材料表面处理技术，它是用一定能量密度和波 长的激光束辐照特定材料，使其表面薄层物质熔化或蒸发而获得光滑表面。激光抛光可以抛光传统方法很 难或根本不可能抛光的、具有非常复杂形貌的表面，是一种很有前途的新型材料加工技术。 激光微抛光技术的研究以激光对玻璃微抛光的研究作为开始。Y. M. Xiao and Michael Bass ，采用300 CW CO [1] 2激光对熔融石英和Pyrex玻璃进行抛光，是激光抛光研究的较早报道 。他们有意识地用600号砂纸 打磨Pyrex玻璃，然后用光束直径是11mm的CO2激光进行照射。实验结果表明激光抛光可以对砂粒磨痕进 行有效消除。西班牙学者F.Laguarta课题组同样采用CO2激光为抛光工具，抛光光学材料（TRC-33