离子源说明.docVIP

西安工业学院 薄膜技术与光学检测重点实验室 2005年3月  目录 1.概述 2.宽束冷阴极离子源原理 3.宽束冷阴极离子源主要性能 4.离子源的基本结构与供电电源 5.离子源的安装 6.离子源的使用 7.离子源的维护及常见故障排除 附录：离子源电源原理图 1. 概述 宽束冷阴极离子源是离子束辅助蒸发技术的关键设备。该源具有结构简单、操作方便、污染小、寿命长等特点。已成功地应用于多种金属膜（Al，Ag，Au等），介质膜（ZnS，MgF2，TiO2，SiO2，Al2O3，Sn:In2O3等）的离子束辅助蒸发。 通常，为适应不同尺寸真空镀膜室的使用要求，需制成不同口径的离子源，以保证离子束的辐照面积以及均匀性的要求。为提高装置的使用灵活性，将两个以上结构相同的宽束冷阴极离子源体（称之为多体）安装到较大尺寸的真空镀膜室中，这样用较小口径的离子源，可以获得较大范围的离子束。同时，各个离子源还可以单独使用。 2.宽束冷阴极离子源原理 多体宽束冷阴极离子源的各个离子源，具有相同的工作原理和结构尺寸。 图2.1为离子源原理示意图。气体在阳极电压Vd的作用下发生辉光放电，等离子体中的离子将向上阴极和下阴极运动；电子将向阳极运动，同时，在轴向磁场的作用下，电子作螺旋运动，由于电子运动路径增大，电子与气体碰撞几率增加。气体电离效率增大，使等离子体维持一定的浓度。在阴极电压Va的作用下，离子由下阴极和引出极组成的引出系统引出。 1 2 3 4 VaVd轴向磁场 Va Vd 轴向磁场 1.上阴极；2.阳极；3.下阴极；4.引出极 图2.1离子源原理示意图 引出离子的能量：E = e [ Va+Vd ] (电子伏特) 　 　 (2.1) 引出离子的电流：I ∝ Va3/2 (2.2) 3.宽束冷阴极离子源的主要性能 单个离子源的主要性能如下： 引出离子束口径：3cm 引出离子束能量：400～1200ev可调 （测试距离20cm） 离子束束流密度：30～120 A/cm2 离子束流密度5%均匀范围：600ev 大于10cm 离子源工作真空度：510-3～310-2 Pa 离子源工作气体：O2，Ar，N2，空气等 离子源外形尺寸： 9490 4.离子源的基本结构与供电电源 4.1离子源基本结构示意图4.1基本结构 4.1离子源基本结构示意图 如图4.1所示，上阴极组包括进气管1，上阴极3，阳极5等；外壳2；引出极组6；磁棒组4；绝缘套7。 装配离子源时，按照上阴极组，磁棒组，绝缘套，引出极组的顺序安装，拆卸维护则按照相反的顺序。 4.2供电电源 由放电与引出两部分组成，分别记为“阳极 = 1 \* ROMAN I”，“阳极 = 2 \* ROMAN II”和“阴极”（对两体离子源而言）。 电源的电路原理图见附录。 电路的前后面板如图4.2所示。 4.2电源前、后面板示意图1、2：阳极 = 1 \* ROMAN I电压、电流表； 4.2电源前、后面板示意图 3、4：阳极 = 2 \* ROMAN II电压、电流表； 5、6：阴极电压、电流表； 7、9、12：阳极 = 1 \* ROMAN I、阳极 = 2 \* ROMAN II、阴极调节旋钮； 8：保险； 10：指示灯； 11：开关； 13：电源插座； 14：地线； 15、16、17：阴极、阳极 = 2 \* ROMAN II、阳极 = 1 \* ROMAN I。 电源与离子源相接时，将阴极同时与两个离子源的上阴极相连；将阳极 = 1 \* ROMAN I、阳极 = 2 \* ROMAN II分别与两个离子源的阳极相连即可。 5.离子源的安装 宽束冷阴极离子源可以安装在镀膜室内任意位置。 离子源安装时，需两个主要附件：一是气，电接头；二是离子源支架。 气，电接头为离子源提供气体和电源通路，可视镀膜机的具体情况专门设计，通常安装在镀膜机备用孔上。 支架设计成可调的形式，使两个离子源的工作角度和相对位置可调，可视使用要求具体设计。 气，电接头在安装、使用过程中应保证其密封和绝缘性能良好；支架的设计和使用不可影响镀膜过程。对多体离子源，气路在真空室内用三通（对双体）将气体分至各个离子源。 6.离子源的使用 多体离子源的每个离子源既可同时工作，又可单独工作，只需通过调节相应的阳极电源即可。 各个离子源调节按照下列步骤进行： 检查离子源电源接线是否正确，有无短路现象；气路是否通畅，有无漏气；一切正常后即可开始工作。 待钟罩内本底真空达到要求后，通过针阀向离子源内充入工作气体，冲气过程应缓慢，视对工作真空