SJT31260 1994A500B2K型高真空薄膜镀膜机完好要求和检查评定方法.pdfVIP

设备完好要求和检查评定方法 (下 册) 标准分享网 免费下载 专用设备 (续) 中华人 民共和.电子行业振准 A500B2K型高真空薄膜敏膜机完好要求 sd/r31260-94 和检变评定方法 ， 主.内容与适用范围 本标准规定了A500B2K型高真空薄膜镀膜机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于A500B2K型高真空薄膜镀膜机。 2 完好要求 2.1 主要性能 21.1 镀膜性能 a. 膜卷宽度范围:250^-520mm; b. 镀层最大宽度:500mm; c. 卷膜速度范围:。.8^-8m/s; d， 一个计算面积单位镀膜范围:1-5d1, 2.1.2 真空源 a. 极限压力:不低于5X10-Pa; b. 抽气速率:5min不低于1X10-Pa; c. 工作极限压力:不低于 1X10-Pa; d.漏气率:镇3X10Pa1/s; 2.1.3 镀膜鼓冷却与加热温度范围为一40C-+25C 2.1.4 卷绕产品端面平整允差不超过士。.lmm,被层无擦伤。 2.2 操作系统 2.2.1 各操作手柄、开关、按钮、旋钮启动灵活，标志齐全。 2.2.2 制动、限位装置齐全，灵敏可靠。 2.3 传动系统 2.3.1薄膜鼓、卷绕、解轴及传动装置，送铝机构运转平稳，无冲击，无振动。 2.3.2变速、张力机构渴节灵敏、可靠。 2.3.3 镀膜鼓、测量轴、张力轴、舒展轴、导轴、压轴表面平直光滑，传动灵敏，测量轴镀金层无 缺陷，碳刷接触可靠。 2.4 真空系统 2.4.1机械真空泵、机械增压泵运转平稳，无冲击，无振动 极限压力不低于5X10-Pa, 2.4.2 油扩散泵，油增压泵、冷阱内表面清洁，工作正常。 中华人民共和国电子工业部 1994-04-15批准 1994-06-01实施 一 783一 标准分享网 免费下载 s;/T 31260--94 2.4.3 燕发室清洁，密封良好，油封不漏油，油位正常，观察窗清晰。 2.4.4 真空管路连接紧固可靠、畅通，密封良好。 2.4.5真空阀门开闭灵暇、可靠。 2.5 气动系统 2.5.1 各气动元件动作灵敏、可靠，无振动，无爬行。 2.5..2各气动管路畅通、清洁、无泄漏，排列整齐，滤油器工作正常 2.6 制冷系统 2.6.1制冷压缩机冷剂循环泵运转平稳，无异常振动，无冲击，循环泵压力范围为0.4- 0. 5MPa;制冷剂量应符合规定要求。 2.6.2 制冷管路连接紧固、可靠，无泄漏。 2.6.3 冷凝、蒸发压力适中，各阀门调节灵敏、可靠。 2.6.4 冷冻机油回油正常。 2.7 电气系统 2.7.1 各元、器件齐全，完整、工作可靠，无老化现象 2.7.2 电气性能灵敏，运行可靠，保护装置齐全，有效。 2.7.3 线路完整，绝缘层无破裂，无漏电现象。 2. 7.4 电气柜内清洁，线路布置整齐，标志明显，各端子紧固无松动现象。 2.7.5 计量仪器仪表完好，指示准确，有有效期内检验合格证。 2.8其他系统 2.8.1冷却 a. 水管路常通，自动阀门灵敏、可靠、清洁，不漏水。 b.水压不低于。. 4 MPa，出水温度不高于300C, 2.8.2 空压 a.管路畅通、清洁，不漏气，阀门调节灵活，压力范围在。. 5-0. 6MPa. b.过滤器工作正常，油雾器油位清晰。 2.9 安全防护 2-9.1 安全防护装置齐全、可靠。 2.9.2接地(零)可靠，标志明显。 2.10 维护保养 按SJ/T 31002一94《设备维护保养通则》执行。 性交、评定方法 3.，检查方法 3-1.1标准中真空度检查，用冷阴极电离真空计方法测量。 3.1.2 标准中速度检查，换算成转速后用转速表方法测量。 3..1. 3 标准中漏气率检查:密闭真空室，用自身真空泵，扩散泵抽至极限真空度后保持30分 钟，其漏气率用(1)式确定: