A-110带空气轴承的PIglideLC线性平台-PhysikInstrumente.PDFVIP

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2017-08-24 发布于天津
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A-110带空气轴承的PIglideLC线性平台-PhysikInstrumente.PDF

A-110 带空气轴承的PIglideLC线性平台价格实惠的高性能纳米级定位系统 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 运动平台的尺寸160毫米×200 毫米 行程达400 毫米 负载容量达100 牛 PIglide参考级线性平台 PIglide定位系统具有一个磁性线性电机、磁性预载空气轴承和一个光学线性编码器：非接触式无摩擦运动实现最佳精度和可靠性附件和可选配件 − 编码器 − PIglide过滤器和空气预处理器 − 单轴和多轴运动控制器 − XY装置和个性化配置 − 花岗岩底座板和隔振系统应用领域 PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如计量、光子学和精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。 24.07.2017 14:52 规格 A-110.050xx A-110.100xx A-110.200xx A-110.300xx A-110.400xx 单位公差运动和定位主动轴 X X X X X 行程 50 100 200 300 400 毫米螺距* 10 20 30 40 50 微弧度最大偏转角* 10 20 30 40 50 微弧度最大直线度/ ±1 ±1 ±1.5 ±2 ±2.5 微米最大平面度* ±10 ±10 ±10 ±10 ±10 纳米最大每10毫米行程的直线度/ 平面度* 速度， 0.5 0.5 1 1 1 米/秒最大空载** 加速度， 10 10 30 30 30 米/平方最大空载** 秒机械特性 z 向负载能力*** 100 100 100 100 100 牛最大移动质量 2.5 2.5 2.6 2.6 2.6 千克总质量 6.3 7.5 11 12 14 千克导向类型空气轴承空气轴承空气轴承空气轴承空气轴承驱动特性驱动类型线性电机，线性电机，线