透射电子显微镜的应用cailiao.pptVIP

透射电子显微镜在材料学中的应用 扬州大学测试中心 陈义芳 2008年5月 表1-2 电子显微镜技术发展简史 Early days of electron microscopy Microsocopy techniques developped 扫描隧道显微技术(STM) 原子力显微技术(AFM) 激光扫描共焦显微技术 扫描隧道显微技术(STM) 原子力显微技术(AFM) 激光扫描共焦显微技术 扫描隧道显微技术(STM) 原子力显微技术(AFM) 激光扫描共焦显微技术 第一章 电子显微镜的基本原理 第一节 电子光学的基本知识 光学显微镜的分辨率和有效放大 分辨率: 能够区分的相邻两个物点间的最小距离。用d表示。 人眼的分辨率 正常人眼在明视距离（250mm）的分辨率是0.2mm。 λ为照明光的波长；n为透镜和样品之间介质的折射率，α为入射孔径角，即光线从样品进入透镜的半张角。nsinα称为数值孔径，用NA表示。光学显微镜的NA值最大不超过1.5，因此d≈0.5λ。即分辨率约为光波波长的一半。 电子束 真空中相对集中而高速运动着的电子流。 一切微观粒子都具有波粒二象性 一个动量为P，能量为E的自由运动粒子，相当于一个波长为λ=h/p=h/mv，沿粒子运动方向传播的平面波。 电子枪发射的电子，由静止状态被电压V加速，以速度v运动时所具有的动能为1/2mv2，根据能量守恒定律有 E=eV=1/2mv2 电子质量m=9.1×10－31kg，电子带电量e=1.6×10－19库仑；普朗克常量h=6.6×10－34焦耳·秒。可推得： 电子透镜 电子透镜的理想成像： 理想成像是指物与像是一一对应的，即物平面上任一点都可在像平面上找到与其相对应的一点，物与像是几何相似的关系，他们之间的差异只是相差放大倍数M。 理想成像只有在满足下列成像条件时才成立： (1)场分布是严格的轴对称； (2)电子是旁轴电子, 即发射出的电子离轴很近（为微米数量级），电子束与轴的夹角很小（约10－3数量级）； (3)电子的速度相等。 电磁透镜的像差： 像差: 实际光学系统和理想光学系统成像的差别，像差的大小标志光学系统成像质量，是影响电子显微镜提高分辨能力的重要因素。 球差、衍射差是限制提高电镜分辨率的主要因素，虽然可以采取措施减少上述各因素对分辨率的影响,但由于消除误差要求的措施有时是矛盾的，所以实际上电镜分辨率也是有限制的。 d= dC + dD = 0.4Cs α3 + 0.61λ /α 例如，为减少球差，光阑孔径越小越好，但光阑孔越小，衍射圆斑越大，二者是矛盾的. 目前比较理想的电镜分辨率为2.5 ? ，有效放大倍数为d人/d仪=0.2mm/2 ?=100万倍 图象的分辨率与加速电压有关，加速电压越高，电子的波长越短，图象的分辨率越好 图象的衬度（反差）与加速电压有关，加速电压越高，电子的穿透性越大，图象的衬度越差 空间分辨率与电子枪有关，利用场发射枪高亮度的特点，可进行高空间分辨率的观察（微区成分、晶体结构分析） 同一个加速电压下，场发射电镜和六硼化镧电镜，图像的分辨率也相同 第二节 电子与固体样品的相互作用 电子入射固体样品时，与样品物质原子及核外电子发生弹性散射或非弹性散射作用，并产生带有样品信息的各种讯号，入射电子在样品中运动、扩散情况，激发作用和能量传递过程如图所示。 一、透射电子（TE） 就原子之间的距离（≥1 ?）和原子核及周围电子的大小（10－5～10－6 ? ）而言， 物质本身实际是一个几乎完全空的空间，如果样品足够薄（小于0.1μm），那么入射电子就能够通过样品，将通过样品的电子叫作透射电子。入射电子在通过样品时，带有样品内部不同的信息，转换成图像即透射电子像。 透射电子的能量是由加速电压值决定的。常压电镜透射电子能量非常小，仅能穿透几毫米厚的空气层或1μm左右的水，不能通过较厚样品。因此常压透射电子像，只能用于观察超薄切片（厚度500～600 ?左右）或很小颗粒及薄膜样品。高压或超高压电镜可用于观察厚样品，但成本高，应用还不普遍。 二、二次电子（SE） 样品物质原子的核外电子受入射电子激发后，逸出样品表面时，就称为二次电子。二次电子可在距样品表面500 ?深度内产生，但由于样品的吸收等作用，只是在距表面100 ?深度内的二次电子才能逸出样品表面，成为