电子束重复曝光加工pcr微通道的工艺研究 research on microchannel fabrication of pcr chip by electron beam lithography based on overlapped scanning.pdfVIP

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2017-08-25 发布于上海
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电子束重复曝光加工pcr微通道的工艺研究 research on microchannel fabrication of pcr chip by electron beam lithography based on overlapped scanning.pdf

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电子束重复曝光加工pcr微通道的工艺研究 research on microchannel fabrication of pcr chip by electron beam lithography based on overlapped scanning

与 MEMS器件技术 MEMS Device Technology 电子束重复曝光加工微通道的工艺研究犘犆犚，１２１３孔祥东冯圣玉张玉林，，山东大学化学与化工学院济南东营职业学院科研处山东东营（，；，；１．２５０１００２．２５７０９１　　　３．山东大学控制科学与工程学院电子束研究所，济南）２５００６１　摘要：对微流控芯片通道中流体的流动特性进行了分析，发现流体在横截面为圆形的通道ＰＣＲ中流动时由摩擦引起的等效水头损失及表面张力均小于微矩形通道以此为依据将芯片。，ＰＣＲ微通道优化设计成圆形通道在电子束曝光机上采用束斑尺寸能量。、ＪＳＭ－５ＣＦ８０ｎｍ２０ｋｅＶ的电子束对厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了单次曝光剂量／２的次重复增量扫描曝１ｍ４０Ｃｃｍ８ μ μ 光实验显影后得到的芯片微圆通道轮廓清晰边缘连续光滑证明了电子束重复增量扫，ＰＣＲ，。描曝光方式制作微流控芯片微圆通道的可行性。ＰＣＲ关键词电子束曝光重复增量扫描聚合酶链式反应微流控芯片流体微通道：；；（）；；ＰＣＲ：；：：（）中图分类号文献标识码文章编号ＴＮ３０５．７ＴＮ７０３Ａ１６７１－４７７６２００９０１－００４１－０４　　犚犲狊犲犪狉犮犺狅狀犕犻犮狉狅犮犺犪狀狀犲犾犉犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳犘犆犚犆犺犻