织构单晶硅表面上银纳米颗粒的制备及其反射性质研究 formation and reflection properties of ag nanoparticles on the textured c-si surface.pdfVIP

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2017-08-27 发布于上海
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织构单晶硅表面上银纳米颗粒的制备及其反射性质研究 formation and reflection properties of ag nanoparticles on the textured c-si surface

第32卷第3期光电子技术 V01．32No．3 2012年9月 OPTOELECTRONICTECHNOLOGY Sept．2012 {＼9净qp、pqp、9p吣pⅦ 冬研究与试制乞咔＼《、—≈《s对《s、《、o 织构单晶硅表面上银纳米颗粒的制备及其反射性质研究周丽丽，马忠权，杜汇伟，丁虎，石建伟，杨洁 (上海大学物理系索朗光伏材料与器件联合实验室，上海200444) 摘要：为减少光反射损失，通过热蒸发在织构单晶硅(经合有碱液和添加剂的特殊溶液80。C 腐蚀30rain而成)表面上沉积了一定厚度的银膜后经一定温度(0～500。C)退火形成银纳米颗粒。 SEM下观察到，银纳米颗粒的大小和形状与退火温度有很大关系。银纳米颗粒表现出的等离激元 8 N。退火20min时样品的反性质对反射谱有影响。实验分析得到，Ag沉积质量是0．003g，400。C 射率和反射率降低(REF1)的波段达到最佳匹配。另外，金字塔上银纳米颗粒的均匀性与沉积的厚度有关。关键词：热蒸发；织构单晶硅；银纳米颗粒；等离激元；反射增强因子中图分类号：0485文献标识码：A 文章编号：1005—488X(2012)03—0150—05 FormationandReflection of PropertiesAgNanoparticles on TexturedC—SiSurface the Zhou Lili，Ma Hu，Shi Jie Zhongquan，DuHuiwei，DingJianwei，Yang (SHU—SolarEPVRDJoint of University， Laboratory，DepartmentPhysics，Shanghai 200444，CHN) Shanghai ’ beenfabricated ofsilver Abstract：Agnanoparticles(NPs)hasbythermodynamicprocessing Si was film，whichisannealedwiththe formedonthetexturedsurface，which nanoparticles ina alkaliandadditive ordertoman— etched kindofsolutionof rain)，in peculiar agents(80。C，30 thereflective sizeand effectswithdifferentNPswere age light．The shape Ag obviouslydepen— dentonthe variationsfrom0to SEM annealingtempe