原创力文档管路国家试验研究院
財團法人國家實驗研究院
國家奈米元件實驗室
AMAT PECVD增設特殊氣體管線
招標規範書
目錄 頁次
目的 3
1. 工作範圍 3
2. 送審文件 3
3. 管路、設備要求 4
4. 測試與驗收 6
5 . 保固 6
6. 其他 7
7
目的
本規範適用PECVD設備增設特殊氣體及管線配設一案。含管路3、B2H6、Ar、H2)之設
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