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提高外延材料质量的微纳米结构及其应用申请号申请日申请专利权人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所地址江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路号发明设计人王敏锐方运张宝顺杨辉主分类号分类号公开公告号公开公告日专利代理机构代理人注本页蓝色字体部分可点击查询相关专利中华人民共和国国家知识产权局发明专利授权公告号授权公告号授权公告日申请号申请日审查员程凯芳专利权人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所地址江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路号发明人王敏锐方运张宝顺杨辉对比文件权利要求书页说明书页附图页
SooPAT
提高GaN外延材料质量的微纳米
结构及其应用
申请号：201110064346.4
申请日：2011-03-17
申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
地址 215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号
发明(设计)人 王敏锐 方运 张宝顺 杨辉
主分类号 H01L33/20(2010.01)I
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