ch4太阳电池的制造.pptVIP

§4.4 晶体硅太阳电池的制造 扩散制结：多数厂家都选用p型硅片来制作太阳电池，那么一般用POCL3液态源作为扩散源。扩散设备可用横向石英管或链式扩散炉,进行磷扩散形成n型层。扩散的最高温度可达到850-900℃。这种方法制出的结均匀性好，方块电阻的不均匀性小于10％，少子寿命可大于10 μs。扩散过程遵从如下反应式： 4POCL3 ＋3O2（过量）→ 2P2O5＋2CL2（气）， 2P2O5＋5Si → 5SiO2 + 4P 近年来，Shell Solar开发了新的扩散工艺，即采用红外加热的办法，明显提高了工效，扩散速度可以达到每秒完成一片电池。 减反射膜制备：采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 技术在电池表面沉积一层氮化硅（SiNx）减反射膜，不但可以减少光的反射，而且因为在制备SiNx 减反膜过程中大量的氢原子进入，能够起到很好的表面钝化和体钝化的效果。 这对于具有大量晶界的多晶硅材料而言，由于晶界的悬挂健被饱和，从而降低了复合中心的作用。由于具有明显的表面钝化和体钝化作用，因此可以用比较差一些的硅材料来制作太阳电池。 SiNx薄膜起到增强对光的吸收性的同时，氢原子对太阳电池起到很好的表面和体内钝化作用，从而提高了电池的短路电流和开路电压。 表面金属化：太阳电池制造的最后一道制作工序是印刷电极，最早是采用的真空蒸镀或化学电镀技术，而现在普遍采用丝网印刷法，即通过特殊的印刷机和模板将银浆、铝浆印制在太阳电池的正、背面，以形成正、负电极引线，再经低温烘烤、高温烧结，最终即可制成太阳电池。 在电池的背面制作电极毫无问题，可在整个背面加上一层薄的金属层，为了容易焊接必要时要镀上一层锡。但电池的正面必须保证对光线透明，因此，电池的正面的电极呈梳子状形式或丝网状树枝状结构。 正面电极的形式和厚度总是两方面因素平衡的结果，一方面要有高的透过率，另一方面要保证栅网电极有一个尽可能低的接触电阻。 各生产厂家有许多不同的制作工艺。通常电池片正面（负极）的梳子状电极结构中，一般有2条或3条主电极粗线，以便于连接条焊接，而背面往往以铝硅合金作为背表面场，以提高开路电压，背面（正极）也有2条或3条便于焊接的粗电极线，并往往还布满细细的网格状银线。 丝网印刷技术近年来不断改进，自动化程度不断提高。先进的丝网印刷的模板采用镍板激光刻槽制成，以保证模板的耐久和栅格的精度。一般丝网印刷的正面电极对光线有7%左右的遮挡，采用先进的模板印刷工艺可减少对光的遮挡，同时接触电阻又有一定程度的降低，制造出的电池效率也会有所提高。 检测分级：电极印刷后到高温烧结结束，整个太阳电池制造过程也就完成了，在太阳光下将太阳电池正、负极用导线接上，就有电流通过了。为了保证产品质量得一致性，通常要对每个电池测试，并按电流和功率大小进行分类，可根据电池效率，每0.4或0.5分级包装。但要使太阳电池能很好的满足用户发电需要，还须将太阳电池封装成太阳电池组件。 高效率太阳能电池制造的成本比普通硅太阳能电池要高得多，因此通常使用在太阳能车或空间应用上。 非常好的金属栅条，通常小于20μm，以减小阴影损失。 打磨或抛光晶片表面后进行激光雕刻并铺上金属网格。 小的电池面积和好的金属导电性，以尽量减小金属网格电阻损失。 小的金属接触面积和在金属电极下面进行重掺杂，以尽量减小复合效应。 使用精密加工的金属，如钛/钯/银，尽量降低接触电阻。 良好的背面钝化以减少复合。 使用减反射膜，能使反射光从30%减少到10%。 有些现存的电池设计也整合了先进的实验室方法。其中有两种方法已经在市场中使用了，如太阳能电池车的PERL电池，由新南威尔士大学制造；还有背电极太阳能电池，由斯坦福大学和太阳动力公司研发。 PERL太阳能电池 发射区钝化及背面扩散的太阳能电池--PERL电池使用了微电子技术使得在AM1.5条件下电池的效率接近25%。钝化发射区指的是在电池表面形成高质量的氧化物，能显著减少表面载流子复合的数量。对背面进行本地扩散，指的是只在与金属接触的区域掺杂，以在尽量减少复合的同时保持良好的点接触。 背电极太阳能电池 背电极电池通过把两边电极都放到电池背面的方式来消除阴影损失。由高质量材料制成的薄膜太阳能电池，其在前表面被吸收的光生电子空穴对依然能被电池的背面电极收集。这种电池在聚光太阳能系统中非常有用，聚光电池系统中的串联电阻要比普通的大很多。 把两种电极都移到背面的另一个好处就是两者之间的相互连接更加容易，栅条之间相距更近，因为必要在电池背面留下空间。 ——作用： 单个太阳能电池往往因为输出电压太低，输出电流不合适，晶体硅太阳能电池本身又比较脆