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二氧化锡纳米气敏材料的研究进展 摘要：当今科技的发展，要求材料具有超微化、智能化、高密度储存、元件的高集成和超快传输等特性，这也为纳米技术和纳米材料应用提供了广阔的前景。二氧化锡作为一种特殊且具有多种用途的重要工业原料，已经显示出现实和潜在的巨大市场。 本论文先对二氧化锡的结构和性质进行研究，得到了其在纳米材料方面的重要性。后在对纳米二氧化锡气敏材料的气敏机理进行综述性阐述的基础之上，我们从传感器设计和气敏材料两个方面，重点分析了二氧化锡气体传感器气敏性能的影响因素，并且着重分析了利用当前的纳米技术制备二氧化锡传感器的研究进展，进而讨论了二氧化锡传感器的发展研究方向与应用前景。关键词：纳米材料；二氧化锡；气敏材料8272 Research Progress on SnO2 Gas Nanosensors Abstract: With the development of science and technology, the material which possess the features of ultra-fine, intelligent, high density storage, components of high integration and ultrafast transmission is required. It also provides broad prospects for the application of nanotechnology and nanomaterials. As a special and multiple functions industrial raw material, SnO2 has shown the reality and potential huge market. The structure and properties of SnO2 has been researched in the article, and we got its importance in the field of nanometer materials. We analysed the influencing factors of sensitive property of SnO2 gas-sensing from two sides, sensor design and sensitive materials, and mainly analyzed the research progress of tin oxide sensors used current nanotechnology, on the basis of review of the SnO2 gas-sensing mechanism, and the devolopment and reaserch direction as with its application prospect of tin oxide sensors is further discussed. The research direction and prospect of SnO2 gas sensor are further discussed. 本文以文献和现有理论为依据，阐述二氧化锡气敏材料的制备技术以及掺杂对材料气敏性的影响、气敏性机理等。首先分析金属氧化物的表面性质和表面过程,然后分析SnO2半导体气敏传感器作用机理，并以此为基础,提出一些改善气体传感器性能的措施。从过去人们对二氧化锡材料的认识、研究和应用状况的调查开始，到随着科学技术的发展，特别是对纳米材料和膜材料的研究，使得二氧化锡纳米材料的发展得到了新的研究高度。 1 二氧化锡的结构与性质 SnO2存在两种晶体结构，即四方晶系的金红石相结构和正交晶系结构。通常,正交晶系结构很不稳定，仅在高温下出现。因此，最常见和最广泛使用的是金红石相结构。金红石型的SnO2属于四方晶系,晶格常数为a=4.738Aring;，c=3.187Aring;。它属于P4mn/m空间群，每个晶胞由两个Sn和四个O原子组成，如图1所示，每个锡原子位于六个氧原子构成的八面体的中心。 图1四方金红石相二氧化锡的晶体结构示意图 Fig.1 The crystal structure of tetragonal rutile SnO2 二氧化锡是一种重要的宽禁带的n-型半导体材料[3-6]，其禁带宽度大约为3.65 eV，它具有良好的透光性,在可见光区域的光透明度可达到97%。同时，一般未掺杂的二氧化锡具有高的载流子浓度，可达1020 cm-3，这可以与半金属比较(1017~1020