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MEMS器件与技术 MEMS Device＆Technology MEMS镍平面弹簧非线性力学性能仿真及研究 隋灵禾，戴旭涵，王佩红，赵小林 (上海交通大学微米／纳米加工技术国家级重点实验室，上海200240) 摘要：工程应用中，平面微弹簧存在弹性系数的非线性现象且难以被忽略，弹簧结构的几何非线 性是引起这种现象的主要原因。针对特定形状的弹簧运用Ansys软件进行了非线性有限元静力 学仿真，计算出弹簧弹性力F与弹性形变z之间的对应关系，并与采用MEMS微细加工技术书j 得弹簧样品实测实验结果比较，相对误差低于3．2％，验证了分析模型的可靠性。而后设计了5 种不同平面形状的微弹簧，仿真计算它们的力学性能曲线，以及改变弹簧臂宽度厚度后的力学性 能曲线，分别进行比较以讨论影响非线性的主要因素，为弹簧的设计工作提供参考依据。 关键词：微电子机械系统(MEMS)；平面微弹簧；弹性系数；几何非线性；Ansys ofNonlinear Simulationand Mechanica