采用可见光源和分划板快速装调激光光路 fast adjustment and alignment of laser optical path by using visible light source and lattice.pdfVIP

第20卷第10期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．20。No．10 HIGHPOWERLASERANDPARTICLE 0Ct．，2008 2008年10月 BEAMS 文章编号：1001．4322(2008)10—1638．03 采用可见光源和分划板快速装调激光光路。 达争尚， 孙 策， 董晓娜， 段学霆， 陈良益 (中国科学院西安光学精密机械研究所先进光学仪器研究室．西安710119) 摘要： 分析了激光测量光路的特点和装校要求，给出了采用可见光源、分划板装校激光光路的原理。 以预放测量模块为例，介绍了装校的流程及装校中的注意事项，分析了装校所能达到的精度，并用内调焦望远 镜进行了装校精度检查。结果表明，采用可见光源、分划板装校的激光光路透镜光轴正过心的偏心极限误差小 于等于0．07mm，光轴倾斜极限误差小于等于25”。 关键词：激光光路； 精密装校；分划板； 装校精度 中图分类号：TN242 文献标志码：A 光学精密装校是保证激光光学系统设计性能的重要环节，在原型装置激光参数测量系统中，由于测量模块 需要完成的测量参数多、系统工作的动态范围宽，因此光路排布复杂，光路中的光学元件多；同时测量模块的布 点多、数量大，测量系统的装校工作量很大；加之激光波长在不可见波段，目视仪器无法使用，更增加了装校工 作的难度。本文提出采用可见光源及分划板快速装校激光光路的方法，分析了该方法的实现途径及装校精度。 并将之实际应用原型装置光束控制与参数测量系统装校中。 l激光光路装校的要求 激光光路装校的基本要求是将光学件及传感器件调试定位在设计的位置上，该位置以设计时确定的系统 光轴为基准，要求光路中元件、器件的轴和系统光轴的位置偏差、角度偏差、轴向位置偏差控制在设计时给定的 容差范围内。测量系统光路中的元件一般包括透镜、反射镜、传感器等，而由于测量光学系统工作波长为单色 光，同时为近轴大F数系统，系统的几何像 差一般在衍射极限范围内，因此系统的装校 调试精度较之传统的成像光学系统低，以原 型装置预放测量模块为例，其光路图如图1 三豆 2虱一9 所示。整个模块工作在准直和打靶两种状 态，准直状态为两组光学铰链退出光路，近 1．neadield for measurementlens；2．3．0’opticalhingeopticalrelay； 场准直CCD实现光路准直监视；打靶状态 4．nearfieldmeasurementCCD-5．neadieldcollimationmeasurementCCDl 为图示状态，实现激光打靶发射时的能量和 as 6．seadieldcollimationlens,7，8．0。opticalhingesplitters 近场分布测量，此时NFCCD(图1中5)不工 axes 9．calorimeter；1#～3#aresystemoptical modulesketch diagnostic 作。 Fig．1Pre-amplifier