无尘室常识及管理幻灯片.pptVIP

传递窗 洁净棚 无尘室天花上部 温湿度计和粒子计数器 压差表 1.对车间或房间加正微压(5-10Pa)，选用0-60Pa微差压计。 2.检查粗、中、高效空气过滤器的过滤效果，选用2000-125、250Pa、500Pa或1Kpa等差压计，随时观测过滤网的压差，以便更换过滤器。 常用量程：0～60Pa 0～250Pa 0～500Pa 0～750Pa -60～0～60Pa - 125～0～125Pa 0～1kPa 0～2kPa 泄压风门 检漏实验 静电测试 风速测试 风罩 顶棚 测口 仪器： 热球风速仪 精度0.01m/s±3%, 量程0~30m/s，集风罩。 方法 用集风罩住送风口， 测出风口平均风速 洁净室噪音标准 标准的洁净室内噪声应符合下列要求： 一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超 过70分贝。 二、空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜 大于60分贝；层流洁净室的噪声级不应大于 65分贝A。 ①取15分钟内测量的风速平均值， ②按不同位置编记录测定值，计算平均风速。 评估标准 ①垂直单向流面风速v0.35m/s ②水平单向流面风速v0.45m/s 注:仅当单向空气流微粒数目符合100级的洁净度要求，同时风速达到上述数值，才可判断该装置达到100级。 数据处理 个/M3≥0.5um ISO146