激光精密刻蚀技术在硅太阳电池制备工艺中应用.pdfVIP

第37卷第11期 光子学报 V01．37 No．11 2008年11月 ACTAPHOToNICASINICA November 2008 激光精密刻蚀技术在硅太阳电池制备工艺中的应用* 王宏杰1，王亚楠1，彭建强1，吕福云1，杜永超2，刘建生2，孙彦铮2 (1南开大学物理科学学院光电信息系，天津300071) (2中国电子科技集团公司第十八研究所，天津300381) 摘 要：依据光学谐振腔的图解分析与设计方法，对以Nd：YAG固体激光器作光源的激光切割机 进行了设计改进，实现了高亮度激光输出．并利用该设备对硅太阳电池进行了激光精密切割试验， 使埋栅太阳电池电极槽达到了平均宽度为150±5