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色科技工程用研中民中市立勤益科技大中民一百零二年五月二十四日文用在子池中矽氧化材料之研究杜景詹明文蔡明立勤益科技大化工材料工程系摘要本利用半程中的刻技以氟酸及硝酸溶液出多孔矽以多孔矽矽材料在充放程中所造成的烈化其主要研究目的是以矽主添加氧化及碳作修改善矽材料在充放所生成的固解及差的度本成功在矽表面造多孔矽在多孔矽表面披覆氧化形成合材料探不同氧化沉多孔矽披覆之影以描式子微比表面分析射和充放行特性分析字子池多孔矽氧化多孔固解前言替代碳材料其中矽具有非常高的容量子池的展至今已有十年目前已理值使其成最有
2013 綠色科技工程與應用研討會(GTEA) 中華民國 臺灣 臺中市國立勤益科技大學
中華民國一百 零二年五月二十四日
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