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次微米阳极氧化铝孔洞制作光学元件之研究.pdf

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中械工程第二十五全研文集大大彰化大村中民九十七年十一月二十一日二十二日文次微米氧化孔洞作光元件之研究彰何光朗詹景翔台科技大械工程系教授台科技大械工程系研究生摘要前言微米氧化次微米即泛指尺孔洞作光元件之研究先行氧化微度介於之微小何以械切削加程再合聚二甲基矽氧烷工看如此微小尺度的造型加工已超出反向印微造翻出次微米抗反射光械加工的成形加工必然有其困度不是元件孔尺度以下模版之加工程之目或是程中量具之甚至於先翻了能完整呈氧化原形貌必另加入光微之解析度均法判分辨形貌尺寸矽油稀改之黏使主硬之精必更深一使用描式

中國機械工程學會第二十五屆全國學術研討會論文集 大葉大學 彰化 大村 中華民國九十七年十一月二十一日、二十二日 論文編號: XXXXX 次微米陽極氧化鋁孔洞製作光學元件之研究 1 2 2

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