小尺寸、低成本气体质谱分析仪问世.docVIP

小尺寸、低成本气体质谱分析仪问世　? 微电子技术研究机构IHP-LeibnizInstitute以及德国航太研究中心(DLR)，合作开发了一种尺寸小巧、具成本效益的气体质谱分析感测系统，运作于245GHz频率；而该系统也是全球第一套以矽锗晶片制作发送与接收器的系统。IHP-Leibniz表示，该机构开发了一种具成本效益的方法来制造所需的SiGe半导体元件──也就是整合了天线的发送器与接收器晶片，运作频率再238GHz~252GHz；由于那些元件是采用标准矽制程技术，可利用现有半导体设备，因此能降低生产成本，并为气体感测器建立一个迄今无法达成的低价格技术基础。新研发的气体感测器具备庞大的应用潜力，包括用以侦测有毒气体，或是运用在半导体产业的化学制程控制；此外该类感测器也能应用在医疗保健领域，例如藉由分析病患所呼出的气体来协助侦测肺部疾病。?毫米波吸收光谱技术是已经存在实验室的技术，应用在分子光谱学与无线天文学领域，判定分子的浓度；传统上该技术所使用的RF发射源──萧特基二极体与下行频率乘法器──都非常昂贵且笨重，虽然近几年来也有一些商用毫米波频率乘法器可做为RF发射源，体积也很小巧、但价格仍相对较高。最近一个美国研究团队也开发出运作频率在210~270GHz的气体质谱分析系统，采用商用化的毫米波元件；不过这类系统的价格目前还是取决于高生产成本的毫米波元件。而理想化的