晶圆厂机台二次配系统简介.ppt

十一．晶圆厂送电相关注意事项 1.机台送电前 (1).确保设备开关为断开位置 (2).确保现场衔接位置的所有螺丝固定 牢固 (3).回路的绝缘量测完好 2.送电中 (1).送电时,电盘和机台侧至少分别配2 个操作人员 (2).送电时,要确保机台操作门面关闭 (3).非相关人员要求远离送电机台 (4).送电开关要求重复开断至少两次 十一．晶圆厂送电相关注意事项 3.送电完成 (1).用万用表测量电压是否符合用点需 求 (2).用相序表测量,相序是否正确 (3).记录下送电机台相关测量参数 (4).在机台处贴上送电标示(标示所用的 纸张要求为无尘纸) 十二．晶圆厂机台电力系统日常维护保养 1. 二次配电力系统日常维护保养的内容主要是： 对相关设备进行清扫、吹尘、擦拭，检查插节式电盘(I LINE PANEL) 、插接箱、盘内断路器等固定是否牢 固，安全装置是否正常，盘体多功能表运行参数是否正 常，机台运行是否正常，附属设备是否正常等，消除不 正常的现象。 2.设备日常维护保养要求做到： (1)、所有设备外观整洁。 (2)、所有设备的工作正常。 十二．晶圆厂机台电力系统日常维护保养 (3)、所有设备的运行状态正常，各指示仪表显示信号正 常。 (4)、所有设备的调节操作手柄、按钮灵活可靠。 (5)、所有设备的安全保护装置功能正常。 (6)、设备周围整洁，无乱堆放杂物. 十三. 问题与讨论! 二次配电力工程简介 1/？ * Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2008 ? ????? 晶圆厂机台二次配电系统简介 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2008 晶圆厂机台二次配电系统简介(制作人:朱红军) 目录 一.晶圆厂机台图片欣赏 二.晶圆厂机台一般分区规划 三.晶圆厂机台一般编号命名规则 四.晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置 五.晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性 六.晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图 七.晶圆厂机台二次配电一般规则 八.晶圆厂机台二次配电所用之电盘位置规划 九.晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项 十.晶圆厂对应机台送电操作流程 十一.晶圆厂送电相关注意事项 十二.晶圆厂机台电力系统日常维护保养 十三.问题与讨论 一．晶圆厂机台图片欣赏 　1. etch-蚀刻区(简称E); 一．晶圆厂机台图片欣赏 　2 . cleancmp –水槽区(简称CC); 备注:CC是clean and cmp,一般会叫该部门为水槽其实,CC不只是水槽,它包括:backside\wet\cmp. wet只是一部分,但是也是主要部分 一．晶圆厂机台图片欣赏 　3. diffusion-扩散区或者称炉管区 (简称D); 一．晶圆厂机台图片欣赏 　4 . thinfilm-薄膜区(简称T); 一．晶圆厂机台图片欣赏 　5 .其他实验、量测机台及自动存储仓库STK. 二．晶圆厂机台一般分区规划 1.说明:制程段机台共分6个区,分别为E CC P D CC T 　　 B区 A区 E-蚀刻区 CC-水槽区 P-黄光区 D-扩散区 CC-水槽区 T-薄膜区 三．晶圆厂机台一般编号命名规则(TOOL ID) 1 2 3 4 5 6 7 E A 0 2 - 2 1 1. 目的:用来辨识机台所处的区域及位置 2. 规则:七位字母和数字编码(内容说明如下) 1 -表示 机台所属部门 ( P: photo-黄光区,E: etch-蚀刻区,T: thinfilm-薄 膜区,D: diffusion-扩散区,C:CC-洗净区 ) 2 -表示 FAB区域( A or B ) 3~4-表示 工作Bay( 01~16 ) 5 -表示 连接符( - ) 6 ~7- 表示 序列号 ( 01~99 ) 1 2 3 4 5 6 7 E A 0 2 - 2 1 3. 范例如下: 三．晶圆厂机台编号命名规则(TOOL ID)