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CCD和COMS成像器件 通信0922 沙伟 093110620 【摘要】CCD与CMOS传感器是当今应用最广泛的视觉传感器。文章首先分析了CCD和CMOS传感器的主要原理，着重对比了CCD与CMOS传感器的性能，最后给出了两种传感器的应用领域及发展趋势。 (一)引言 在生活中，图像传感器被大量的应用，它正逐渐成为半导体产品中最耀眼的明星之一。图像传感器包括照射原图的光源，上面安装有多个传感器芯片的传感器板，以及直接连接于所述光源的引线端和所述传感器板的输入／输出端的单 独的连接构，用来在集总结构中实现来自外部的输入和向外部的输出。 CCD(Charge Coupled Device电荷耦合器件)和CMOS(COⅢp1ementary Metal Oxide Semiconduct0r互补金属氧化物半导体)传感器是当前被普遍采用的两种图像传感器，两者都是利用感光二极管(photodiode)进行光电转换，将光像转换为电子数据。CCD于1969年研制成功，发展2O世纪八、九十年代，现在被广泛应用于广播电视领域。COMS传感器是上世纪8O年代为克服CCD生产工艺复杂、功耗较大、价格高、不能单片集成和有光晕、拖尾等不足之处而研制出的一种新型图像传感器，CMOS传感器已成为消费类数码相机、电脑摄像头、可视电话等多功能产品的理想之物，随着技术的发展已逐步应用于高端数码相机和电视领域 。 (二)CCD传感器的基本原理 CCD全称为电荷耦合器件，是上世纪7年代以来逐步发展起来的半导体器件。它是在MOS集成电路技术基础上发展起来的，为半导体技术应用开拓了新的领域。它具有光电转换、信息存贮和传输等功能，具有集成度高、功耗小、结构简单、寿命长、性能稳定等优点，故在固体图像传感器、信息存贮和处理等方面得到了广泛的应用。CCD图像传感器能实现信息的获取、转换和视觉功能的扩展，能给出直观、真实、多层次的内容丰富的可视图像信息，被广泛应用于军事、天文、医疗、广播、电视、传真通信以及工业检测和 自动控制系统。实验室用的数码相机、光学多道分析器等仪器，都用CCD作图像探测元件。一个完整的 CCD器件由光敏单元、转移栅、移位寄存器及一些辅助输入、输出电路组成。CCD工作时，在设定的积分时间内由光敏单元对光信号进行取样，将光的强弱转换为各光敏单元的电荷多少。取样结束后各光敏元电荷由转移栅转移到移位寄存器的相应单元中。移位寄存器在驱动时钟的作用下，将信号电荷顺次转移到输出端。将输出信号接到示波器、图象显示器或其它信号存储、处理设备中，就可对信号再现或进行存储处理。由于CCD光敏元可做得很小(约lOum)，所以它的图像分辨率很高。CCD的基本单元是MOS电容器，这种电容器能存贮电荷，其结构如图 1所示。以 P型硅为例，在P型硅衬底上通过氧化在表面形成Si0层，然后在Si上淀积一层金属为栅极，P型硅里的多数载流子是带正电荷的空穴，少数载流子是带负电荷的电子，当金属电极上施加正电压时，其电场能够透过SiOz绝缘层对这些载流子进行排斥或吸引。于是带正电的空穴被排斥到远离电极处，剩下的带负电的少数载流子在紧靠SiOz层形成负电荷层(耗尽层)，电子一旦进入由于电场作用就不能复出，故又称为电子势阱。 当器件受到光照时(光可从各电极的缝隙问经过Si0层射入，或经衬底的薄P型硅射入)，光子的能量被半导体吸收，产生电子一 空穴对，这时出现的电子被吸引存贮在势阱中，这些电子是可以传导的。光越强，势阱中收集的电子越多，光弱则反之，这样就把光的强弱变成电荷的数量，实现了光与的转换，而势阱中收集的电子处于存贮状态，即使停止光照一定时间内也不会损失，这就实现了对光照的记忆 。 图 1 用作少数载流子贮存单元的MOS剖面图 由分析可知，上述结构实质上是个微小的MOS电容，用它构成象素，既可“感光”又可留下“潜影”，感光作用是靠光强产生的电子电荷积累，潜影是各个象素留在各个电容里的电荷不等而形成的，若能设法把各个电容里的电荷依次传送到输出端，再组成行和帧并经过“显影”就实现了图像的 传递 。 (三)CMOS传感器的基本原理 CMOS传感器实际上是一个较完整的图像系统，它将图像传感部分、信号读出电路和控制电路集成在一块芯片上，CMOS传感器的总体组成结构如图2所示，主要由感光阵列、水平(垂直)控制和时序电路、模拟信号读出处理电路、人勺转换电路、数字信号处理电路和接口电路组成。感光阵列将光电产生的电流在水(垂直)控制和时序电路的作用下读出到模拟信号读出处理电路，经 A ／D转换变成数字信号，再经数字信号处理、电路处理，最后通过接口电路读入计算机 。 CMOS的典型工作流程如图 3所示。 (四)CCD与CMOS传感器的性能对比 CCD和CMOS图像传