非晶硅薄膜的激光晶化及深度剖析喇曼光谱研究-发光学报.PDFVIP

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2017-09-09 发布于天津
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非晶硅薄膜的激光晶化及深度剖析喇曼光谱研究-发光学报

24 4 Vol124 No.4 2003 8 CHINESE JOURNAL OF LUM INESCENCE Aug. , 200 3 : 1000-7032(2003) 04-0426-0 非晶硅薄膜的激光晶化及深度剖析喇曼光谱研究 1 1 1 2 3 1 1 1 徐晓轩 , 林海波, 武中臣, 李洪波, 俞钢 , 朱箭 , 张存洲, 张光寅 ( 11 ; 21 ; 31 Dupont ; , 300071) : , PECVD , , , nm , , , , , : ; ; ; : O482131 : A , 1 引言 , , , 2 实验 , , , [ 1] , nm , PECVD , , 70 9 , 016Lm , Renishaw , MKI2000 [ 2~ 4] SP100 He-Ne , , 63218nm, 30mW, % , , 0 ( N 1A1= mapping 017 ) , mW, 01 1Lm, 2 611 @ 10 W/ cm , 100 [ ] , ( (N 1A1= 019) , [ 6] ) , 418mW, 0143Lm, 2 , 813@ 10 W/ cm ( )