【2017年整理】超大规模集成电路硅片的内吸杂.pdfVIP

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2017-12-13 发布于浙江
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【2017年整理】超大规模集成电路硅片的内吸杂

超大规模集成电路硅片的内吸杂汤艳等大模成路片的内吸杂超规集电硅汤艳杨德仁马向阳李东升樊瑞新阔端麟浙江大学硅材料科学国家重点实验室 , 杭州摘要介绍了吸杂的分类与效果以及内吸杂工艺 , 并综述了金属在硅中的性质 , 主要阐明了氧在内吸杂中的作。。用 , 简了杂的 , 了的最后了后杂的向述氮对吸影响并讨论内吸杂物理机理探讨今吸发展方关键词硅内吸杂金属氧 , 砂