SFJ231氦检质谱仪说明书.pdfVIP

使用说明书 SFJ-231/211 系列氦质谱检漏仪 仪 科 技 目 录 概述 1 概述4 二 仪器介绍 2-1 仪器性能参数 2-1-1 SFJ 系列性能参数5 2-1-2 SFJ 系列使用环境7 2-2 仪器结构 2-2-1 仪器外观8 2 -2 -2 内部结构及部件 -- -- -- -- -- -- -- -9 2-2-3 操作面板 10 2-2-4 外部接口 11 2-3 工作流程 2 -4 -1 系统示意图 13 2-4-2 统工作流程 14 三 使用方法 3-1 开始使用（以喷吹法为例） 3- 1-1 准备工作16 3-2 基本操作说明 3-2-1 启动16 3-2-2 开始/停止操作18 3-3 参数设定23 3-4 参数设定方法 3-4-1 参数设定（已音量设定为例）36 3-4-2 调零 （校零）37 3-4 -3 停机断电 37 - 2 - 3-5 标漏校准 3-5-1 真空模式定标 （外置标漏模式）38 3-5-2 真空模式定标（内置标漏模式）39 3 - 5-3 吸枪模式定标 39 四 维护 4-1 基本维护项目 4-1-1 漏率校准40 4-1-2 机械泵保养40 4-1-3 分子泵维护4 1 4- 1-4 质谱管及离子源清洗4 1 五 常见故障和处理 5-1 常见故障和处理42 5-2 错误代码及其排除43 六 附录 . 6-1 氦质谱检漏仪的工作原理 45 6-2 氦质谱检漏仪的检漏方式 46 6-3 常用单位的换算 6-3-1 压强单位的换算47 6-3 -2 漏率单位的换算47 6-4 常用检漏方法 6-4-1 喷吹法——确定漏孔位置48 6-4-2 吸入法——确定漏孔位置49 6-4-3 钟 法——测总漏率50 6-4-4 背压法——测总漏率51 6-4 -5 辅助真空系统52 七 售后服务 7-1 售后服务53 - 3 - 第一章 概述 1-1 概述 SFJ 型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质 谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、 速度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦 作为探索气体，所以安全可靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用： n 科学研究 n 航空航天 n 汽车制冷 n 军事工业 n 分析仪器 n 发电厂 n 核工业 n 压力容器 n 精密机械加工 n 医疗仪器/仪表 n 真空炉、镀膜设备等装置或系统 n 高真空和超高真空的工程 n 半导体等行业 SFJ 型氦质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更精确的检漏方案。 - 4 - 第二章 仪器介绍 2-1 仪器性能参数 2-1-1 SFJ-231/211 性能参数 n 电源连接 参数