精品炭炭复合材料化学气相沉积工艺进展.pdfVIP

第 卷第 期 粉末冶金材料科学与工程 年 月 !! ())* !) #$%!!’$ +,- ())* ! !#$%’()*$+*$+,-++$$%+ /01/2,$%!$#’’3% . . .4 炭!炭复合材料化学气相沉积工艺进展 于 澍!黄启忠!黄伯云!熊 翔!张传福 ! ! !中南大学 粉末冶金国家重点实验室长沙 # .!))/0 摘 要 对多种化学气相沉积工艺进行了分析对比指出在炭$炭复合材料的研制与开发中以等温等压 ! ! #的工艺为最优%该工艺能很好地控制工艺参数特别是对于装了大量异形件的高炉膛所沉积的样件不仅 12#3 密度均匀而且性能稳定虽然其工艺周期较长但在实际生产中可以通过多料柱的高炉膛来降低成本是比较 成熟稳定的生产工艺%近年来兴起的其他工艺主要关注沉积速度和沉积机理大多局限于实验室研究距工 业化大生产还有很大的距离% 关键词 炭$炭复合材料’化学气相沉积! #’工艺 2#3 中图分类号 文献标识码 文章编号 ! # 4500( 6 !*70 )((. ())* (*( )* !!!! ! ! ! ! $ 1%/*$((,$5$’/7$+#/0*8$7(#% 5/%,$/(#/+0/%9 9*/7 /(#$ 6 4 6 6 6 89 :; =96’ ?@AB;$C =96’ 5E@AC G1+’ G@EC H=6’ 2;ECAI D F D ! :-E-JKJ LEM$NE-$N $IO$PQJNRJ-E%%N 2JC-NE%:$-;9C@SJNT@- F F DF F # 2;EC T;E.!))/02;@CE D ( ! # $ :;(#%*#